Монтаж на пленку, Ламинаторы пластин, УФ отверждение, Растяжка

Установки монтажа пластин на пленочный носитель STM-130 / STM-140 производства SR Co. Ltd. (Корея).   

Параметры: 
Тип - ручная установка
Монтаж пластин размером до 200 мм и до 300 мм соотвественно
Устройство натяжения пленки для защиты от повреждения пластины
Подогреваемый столик (80 ^oC) из алюминия с тефлоновым покрытием

Применение:
Back-end процесс - разделения пластин на кристаллы

Ручные установки монтажа на пленку перед дисковой резкой моделей P-200 и P-300 производства POWATEC GmbH (Швейцария).

Параметры: 
Тип - ручная установка
Монтаж пластин диаметром до 200 мм и до 300 мм соотвественно
Мин. толщина пластин 30 мкм

Применение:
Back-end процесс - разделения пластин на кристаллы

Установки УФ засветки (отверждения) пленки SUV-150 / SUV-35SL производства SR Co. Ltd. (Корея).   

Параметры: 
SUV-150 - ручная установка
SUV-35SL - полуавтоматическая установка
УФ засветка рамок до 300 мм (12")
УФ лампы - стандартное исполнение или опционально (UV LED)
Источник: УФ лампа, ресурс 3000 часов
Адаптеры для разных размеров пластин

Применение:
Back-end процесс - разделения пластин на кристаллы

Установки УФ отверждения пленки после дисковой резики пластин моделей U-200 / U-300 / U-450 производства POWATEC GmbH (Швейцария).

Параметры: 
Тип - ручная установка
Ламинация пластин диаметром до 200 мм,  до 300 мм и до 450 мм соотвественно

Применение:
Back-end процесс - разделения пластин на кристаллы

Ручные установки ламинации пластин моделей L-200 и L-300 производства POWATEC GmbH (Швейцария).

Параметры: 
Тип - ручная установка
Ламинация пластин диаметром до 200 мм и до 300 мм соотвественно

Применение:
Back-end процесс - шлифовка обратной стороны (Back side grinding), утонения пластин