ATLAS 300 - Система измерения механических напряжений в тонких плёнках. 

• Поддержка пластин диаметром до 300 мм (12 дюймов) - автоматическая платформа
• Диапазон измерения механических напряжений плёнки: 1–10 000 МПа
• Диапазон измерения радиуса кривизны: 2 - 33 км
• Воспроизводимость измерения радиуса кривизны: <1% при 1σ (вогнутое зеркало с радиусом кривизны 20 м)
• Погрешность измерения: ≤2% (вогнутое зеркало с радиусом кривизны 20 м)
• Минимальный шаг сканирования: 0,1 мм

Особенности

• Прибор измеряет радиус кривизны поверхности образца методом спектроскопии и вычисляет механические напряжения в плёнке по формуле Стони

• Рисунок 1-1 представляет собой схему принципа работы спектральной измерительной системы. Основная логика измерений данной системы заключается в преобразовании трёхмерных топографических различий поверхности образца в распознаваемые спектральные характеристические сигналы с последующим вычислением высотной информации о поверхности. Путём сравнения профилей образца до и после нанесения покрытия определяется изменение радиуса кривизны, после чего с использованием формулы Стони вычисляются механические напряжения в плёнке на поверхности образца.

Применение

Приборы серии Atlas для измерения механических напряжений в тонких плёнках позволяют в автоматическом режиме измерять такие параметры, как профиль поверхности, высота прогиба, коробление, радиус кривизны и механические напряжения в тонких плёнках образцов пластин. Приборы предназначены для работы с тонкоплёночными материалами: вольфрамом, нитридом титана, алюминием, нитридом кремния и диоксидом кремния. В основе работы прибора лежит метод изгиба подложки: механические напряжения в тонких плёнках на поверхностях различных подложек измеряются бесконтактным высокоточным методом с применением уравнения Стони.