Eplec-RC - установки четырехзондового измерения (4-point probe) - измерение удельного и поверхностного сопротивления четырехзондовым методом на полупроводниковых пластинах Si, GaAs, InP, Ge, SiC, Сапфира и др. производства PLSINTEC CORPORATION (Китай). 
Измерение (картирование) на пластинах диаметром от 52 мм (2") до 200 мм (8") и толщиной до 4 мм.  

Принцип работы
Метод четырех зондов — это контактный метод измерения. Зонд, состоящий из четырех проводящих штырьков, соприкасается с поверхностью проводящего слоя под действием силы. В стандартной конфигурации штырьков ток подается на два крайних штырька, а напряжение измеряется на двух внутренних штырьках. Для измерения удельного сопротивления толщина проводящего слоя должна быть меньше половины расстояния между штырьками зонда. Чередование измерения напряжения на разных штырьках позволяет динамически корректировать краевые эффекты и ошибки в расстоянии между штырьками.

Особенности

• Диапазон измерений: 1 mΩ/sq-200 MΩ/sq
• Высокая точность – ±1%.
• Воспроизводимость (1σ) -  < 0,2%
• Столик до 200х200 мм
• Толщина пластин: 70 мкм до 4 мм.

Применение

Система Eplec-RC предлагает превосходное решение для измерения сопротивления тонких пленок. Контактный четырехзондовый метод обладает высокой точностью измерения и широким диапазоном. Он подходит для мониторинга удельного сопротивления кремниевых пластин, диффузионных слоев, ионно-имплантированных слоев, прозрачных проводящих пленок ITO, металлических пленок и т. д. Это ключевое средство для мониторинга процессов, контроля качества, а также исследований и разработок устройств. В сочетании с мощными возможностями анализа данных он может удовлетворить все требования, начиная от лабораторных исследований материалов и заканчивая мониторингом производственных процессов.

Описание Eplec-RC в PDF