Карта сайта

Оборудование в Сфере Микроэлектроники и Нанотехнологий Minateh

Сервис

Безмасковая Лазерная Литография

Установки Безмаскового Совмещения и Экспонирования (MLA)

Установки нанолитографии (NanoFrazor) | Установка нанолитографии

Электронно-Лучевая Литография| Нанолитография| Нанолитография в Микроэлектронике

Фотолитография | Процесс фотолитографии | Установки фотолитографии

Нанесение Фоторезиста | Проявление Фоторезиста

Установки Травления | Плазменное Травление

Плазменное осаждение (PECVD, ICPECVD) | PECVD

Атомно-Слоевое Осаждение

Плазменная Очистка | Активация Поверхности

Вакуумное Напыление | Установка Вакуумного Напыления

Установки LPCVD Осаждения Графена| Получение Углеродных Нанотрубок

Симуляция Космического Пространства| Имитатор Космического Пространства

Осаждение SprayCVD, MOCVD, LPCVD

Быстрые термические процессы - RTP

Диффузионные печи

Установка шлифовки и полировки пластин подложек

Планаризация и ХМП

Очистка пластин и фотошаблонов

Монтаж на пленку, Ламинаторы пластин, УФ отверждение, Растяжка

Ультразвуковая Сварка

Декапсуляция

Измерение Толщины Пленок

Измерение Толщины Поверхностного Сопротивления Пленок

3d Оптические Профилометры

3D профилометр

Стилусные Контактные Профилометры KLA-Tencor

Измерение геометрии пластин Proforma 300i

Оптические Микроскопы Nikon

Оптические Микроскопы Chongqing Optec Instrument Co., Ltd

Сканирующие (Растровые) Электронные Микроскопы JEOL

Пробоподготовка для Микроскопии JEOL

Системы Анализа Поверхности (Микрозонды и Анализаторы) JEOL

Толщиномер покрытий

Зондовые Станции

Антивибрационные Решения Accurion, платформы

Купить скруббер для очистки газа

Генераторы азота

Купить газовые шкафы SVCS - системы доставки ультрачистых (UHP) газов и сред

Компоненты газовых систем и монтаж газовых линий

Лабораторные вакуумные насосы

Водоподготовка

Купить системы очистки и доочистки газа

Источники бесперебойного питания GMUPS

Axalit Soft - программное обеспечение съемки и анализа изображений микро- и макроструктуры различных объектов

В Томске запущен комбинированный эллипсометр-рефлектометр SE 500adv

Специалистами МИНАТЕХ произведена поставка и наладка шлифовального станка для утонения кремниевых пластин G&N GmbH (Германия)

МИНАТЕХ поставил в НИИЭП центрифугу SPIN-1200T

Новый S neox - 3D профилометр-конфокальный микроскоп от SENSOFAR

МИНАТЕХ поставил антивибрационную платформу и акустический кожух Accurion GmbH

В МФТИ запущен спектроскопический эллипсометр SENresearch 4.0 SER 800

Технологическое Оборудование

Аналитическое Оборудование

Обеспечение Производства

Deposition Angstrom Engineering

Maskless lythography

MLA series

Mask aligners

Spin coaters and developers

Plasma etching (RIE, RIE-ICP, DRIE)

PECVD Systems (PECVD, ICPECVD)

Atomic Layer Deposition Systems (ALD)

Plasma cleaning

PVD systems

SprayCVD, MOCVD, LPCVD

IC Decapsulation systems

RTP

CMP an Planarization

Reflectometers from SENTECH Instruments GmbH

Laser ellipsometers SENTECH Instruments GmbH

Spectroscopic ellipsometers SENTECH Instruments GmbH

Metrology for photovoltaics

Gas cleaning SEAS Pure Gas

Gas boxes

Water preparing

Vacuum pumps

SE 400adv laser ellipsometer

Combined Ellipsometry Reflectometry CER SE 500adv

SE 400adv PV

SE 800 PV

Analytics and metrology

Reflectometers RM 1000/RM 2000

Production facilities

Очистка газов от SEAS Pure Gas

Лабораторный вакуумные насосы

Установки водоподготовки (производство ультрачистой DI воды)

PEALD (Plasma assisted Atomic Layer Deposition)

E400 E Planariztion system

E460 E Planariztion system

PS103S Plastic Mold Decapsulation system

PS105 Plastic Mold Decapsulation system

Laser IC decapsulation systems PL101i and PL121i

ES312 Dry Etching IC decapsulation systems

ES301 Dry Etching IC decapsulation systems

ES373 Dry Etching fine IC decapsulation systems

MDA-40FA / MDA-80FA / MDA-12FA

Technology equipment

Tabletop Micro Pattern Generator μPG 101

The Ultimate Lithography Research Tool DWL 66+

High Resolution Pattern Generators DWL 2000/ DWL 4000

Pattern Generators VPG 200/ VPG 400

Tabletop Maskless Aligner MLA100

Maskless Aligner MLA150

SprayCVD-050 от ANNEALSYS (Франция)

DLI-CVD, MOCVD MC-050

DLI-CVD, MOCVD MC-100, MC-200

Depolab 200 (PECVD)

SI 500 PPD (PECVD)

SI 500 D ICPECVD

Yocto (low cost system)

Zepto (low cost system)

ATTO (low cost system)

Femto

Pico

Nano

Tetra 30 / Tetra 100 / Tetra 150

PlasmaBeam

Etchlab 200 (RIE), Etchlab 380 Multiwafer

Spray coater MSC-150A

Slider

Бюджетный оптический профилометр Profilm3D от Filmetrics

Купить лазерные эллипсометры SENTECH, узнать цены

Купить спектроскопические эллипсометры SENTECH Instruments GmbH, каталог продукции

Рефлектометры серии RM 1000/RM 2000 от SENTECH Instruments GmbH

Автоматический спектроскопический эллипсометр SENDURO

Полностью автоматическая измерительная система SENDURO MEMS для производства

ИК-Фурье спектроскопический эллипсометр SENDIRA для измерения в ИК спектре

Стереомикроскопы Chongqing Optec Instrument SZ650, SZ680, SZ780

Инспекционные микроскопы Nikon (Япония)

Измерительные микроскопы Nikon (Япония)

Металлографические микроскопы Nikon (Япония)

Стереомикроскопы Nikon (Япония)

Купить S lynx - компактный 3D оптический профилометр-конфокальный микроскоп - узнать цены

S mart - 3D оптический профилометр-конфокальный микроскоп для in-situ измерений

Напылительная установка магнетронного типа Smart Coater (Neo Coater)

Универсальная вакуумная напылительная установка JEE-420

Настольная установка JEC-3000FC от JEOL

Система Ion Slicer EM-09100IS от JEOL

Система Cross-Section Polisher (CP) IB-09010CP от JEOL

Рентгенофлуоресцентный толщиномер покрытий Maxxi 6 производства OXFORD Instruments

Рентгенофлуоресцентный толщиномер покрытий Compact производства OXFORD Instruments

Рентгенофлуоресцентный толщиномер покрытий Maxxi 5 производства OXFORD Instruments

Рентгенофлуоресцентный толщиномер покрытий X-Strata 920 производства OXFORD Instruments

Термоэмиссионные растровые электронные микроскопы JEOL, узнать цены

Купить растровые электронные микроскопы JEOL с полевой эмиссией (автоэмиссионные РЭМ)

Электронно-зондовый микроанализатор 5-го поколения JXA-8230 от JEOL

Электронно-зондовый микроанализатор JXA-8530F (HyperProbe) от JEOL

Оже-микрозонд JAMP-9510F от JEOL

Рентгеновский фотоэлектронный спектрометр JPS-9030 от JEOL

Рентгеновский фотоэлектронный спектрометр JPS-9200 от JEOL

Стилусный профилометр Alpha-Step D-500

Стилусный профилометр Alpha-Step D-600

Стилусный профилометр P-7

Стилусный профилометр P-17

DC зондовые станции MS TECH

RF зондовая станция MS TECH

Полуавтоматические зондовые станция MS TECH

Nano series - компактная антивибрационная платформа

i4 series - антивибрационная платформа

Vario series - антивибрационные элементы

Workstation series - антивибрационные столы

Акустическая изоляция (Acoustic enclosure)

Купить оборудование очистки газов от SAES Pure Gas

Cухая нейтрализация технологических отходящих газов CLEANSORB

Предохранительное устройство от утечки газах CLEAN-PROTECT

Мини-картридж для вентиляционных линий газораспределительных устройств серии CLEANVENT

Лабораторные вакуумные насосы

Установки водоподготовки (производство ультрачистой DI воды)

Установка совмещения и экспонирования MDA-400LJ с ручным управлением

Установка совмещения и экспонирования MDA-400M с ручным управлением

Установка совмещения и экспонирования MDA-400M-6 с ручным управлением и PC/PLC контролем

Полуавтоматическая установка совмещения и экспонирования MDA-600S

Полуавтоматическая установка совмещения и экспонирования MDA-60MS/80MS

Полуавтоматические установки совмещения и экспонирования MDA-80SA / MDA-12SA

Полностью автоматические установки совмещения и экспонирования MDA-40FA / MDA-80FA / MDA-12FA

Установки атомно-слоевого осаждения SI ALD и SI ALD LL (Thermal ALD и PEALD)

Установки атомно-слоевого осаждения SILAYO

Установка DLI-CVD и MOCVD модели MC-050 от ANNEALSYS (Франция)

Установка DLI-CVD и MOCVD модели MC-100 и MC-200 от ANNEALSYS (Франция)

Лабораторные диффузионные печи серии PEO для атмосферных процессов, PECVD и LPCVD

Горизонтальные диффузионные печи SVCS для атмосферных процессов

Горизонтальные диффузионные печи SVCS для LPCVD процессов

Купить установки электронно-лучевой литографии серии Raith EBPG5150 / EBPG 5200

Raith VOYAGER

Raith 150 TWO

Raith e_Line PLUS

Установки декапсуляции методом сухого травления ES301, ES312, ES373 и ES401 от NSC (Япония)

Химическая декапсуляция пластиковых корпусов PS103S и PS105 от NSC (Япония)

Лазерная декапсуляция PL101i и PL121i от NSC (Япония)

Настольная установка безмаскового совмещения и экспонирования MLA100

Установка безмаскового совмещения и экспонирования MLA150

Настольная установка безмаcковой лазерной литографии mPG 101

Установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Установка безмасковой лазерной литографии DWL 2000/ DWL 4000

Установки безмасковой лазерной литографии VPG+ 200/ VPG+ 400 - запросить стоимость

Установки очистки пластин и фотошаблонов SWC-3000

Установки очистки пластин и фотошаблонов SWC-4000

Установки очистки пластин и фотошаблонов LSC-4000

Установки SRD очистки и сушки пластин и фотошаблонов SRD

Ручные установки монтажа пластин на пленку P-200 / P-300

Ручные установки ламинации пластин L-200 / L-300

Установки УФ отверждения U-200 / U-300 / U-450

Установка химико-механической планаризации E400 E

Установка химико-механической планаризации E460 E

Установка плазменной очистки Yocto (low cost system)

Установка плазменной очистки Zepto (low cost system)

Установка плазменной очистки ATTO (low cost system)

Установка плазменной очистки Femto

Установка плазменной очистки Pico | запросить цены

Установка плазменной очистки Nano - купить в Москве

Установка плазменной очистки Tetra 30 / Tetra 100 / Tetra 150

Установка плазменной очистки Tetra 2800

Установка плазменной очистки DENTALPLUS (для стоматологии)

Специальные установки плазменной очистки

Установка плазменной очистки при атмосферном давлении серии PlasmaBeam

Установка осаждения диэлектриков Depolab 200 (PECVD)

Установка осаждения диэлектриков SI 500 PPD (PECVD)

Установка осаждения диэлектриков SI 500 D (ICPECVD)

Установки реактивно-ионного травления Etchlab 200 (RIE) и Etchlab 380 Multiwafer

Установка реактивно-ионного травления SI 591 Compact (RIE) и SI 591 (RIE)

Установка реактивно-ионного травления SI 500 RIE

Установка травления в индуктивно-связанной плазме SI 500

Установка криогенного травления в индуктивно-связанной плазме SI 500 С

Установка AS-Micro для быстрых термических процессов (RTP)

Установка AS-One для быстрых термических процессов (RTP)

Установка AS-Master для быстрых термических процессов (RTP) и RTCVD

Компактная установка AS-Premium для быстрых термических процессов (RTP)

Установка высокотемпературного отжига Zenith 100

Центрифуга для нанесения фоторезиста или сушки - SPIN-1200T

Центрифуга для нанесения/проявления фоторезиста или сушки - SPIN-3000D

Центрифуга для нанесения/проявления фоторезиста или сушки - SPIN-3000A

Центрифуга для нанесения/проявления фоторезиста или сушки - SPIN-3000T

Центрифуга для нанесения/проявления фоторезиста или сушки - SPIN-4000A

Центрифуга для нанесения/проявления фоторезиста или сушки - SPIN-5000A

MINILAB - литографическая мини лаборатория

Установка нанесения/проявления и сушки фоторезиста - SSP 200

Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления и сушки фоторезиста MSX 1000

Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления и сушки фоторезиста MSX 2000 / MSX 3000

Нанесения фоторезиста спреем MSC-150A

Термостолик для сушки фоторезиста

53XX F&S BONDTEC - полуавтоматические универсальные установки сварки

56XX F&S BONDTEC - полуавтоматические универсальные установки сварки и тестирования

Установка нанолитографии NanoFrazor Scholar - характеристики, запросить цену в Москве

Установка нанолитографии NanoFrazor Explore

Лабораторная установка резистивного испарения Covap

Резистивное термическое испарение (resistive evaporation)

Магнетронное распыление (magnetron sputtering)

Установка напыления NexDep

Электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation)

Ионное асистирование (ion-assisted deposition)

Установка напыления Amod

Установка напыления EvoVac

Установка напыления Box Coaters

Кластерные установка напыления NEBULA

Установка ионно-лучевого распыления Reticle (IBSD)

Установка магнетронного распыления линейного типа (Linear sputter system)

Процессы вакуумного напыления (Application)

3R / 4R (односторонняя шлифовка и полировка)

AC microLine (двухсторонняя шлифовка и полировка)

Спектроскопические эллипсометры SENresearch 4.0 для исследований и производства

МИНАТЕХ внедрил установку лазерной литографии mPG 101

МИНАТЕХ поставил антивибрационную платформу Accurion GmbH

В Брянске запущена установка MLA150

В НТИИМ в Нижнем Тагиле поставлены и внедрено оборудование микроэлекроники

Поставка в ИБХ РАН установки ATTO

HIMT анонсировал новую версию установки безмаскового совмещения и экспонирования MLA150 с пишущей головкой 0.6 мкм

В ЦНИИХМ запущен ИК-фурье спектроскопический эллипсометр SENDIRA

МИНАТЕХ стал дистрибутором швейцарской фирмы POWATEC GmbH

Поставка двух центрифуг SPIN-1200T

В одном из Московских Университетов запущен спектроскопический эллипсометр SER 850 DUV

Купить S neox - 3D оптический профилометр-конфокальный микроскоп - характеристики, цены

В ФГБНУ ТИСНУМ запущен 3D оптический профилометр-конфокальный микроскоп S neox

В АО "Протон" запущена первая в РФ установка MLA150

Центрифуга SPIN-1200T с нашего слада

Выставка - SEMIEXPO 2018

Плазменная очистка ATTO

В РХТУ запущен спектроскопический эллипсометр SENTECH SER 800

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Купить Лазерный (сканирующий) эллипсометр-рефлектометр CER SE 500adv SENTECH

Статьи

Технологическое оборудование

Свернуть

Аналитическое оборудование и метрология

Свернуть

Обеспечение
производства

Свернуть