Установка напыления Box Coaters

Вакуумные установки Box Coaters для производства производства Angstrom Engineering Inc. (Канада) - самая большая из платформ установкок Angstrom Engineering и имеет наибольшие возможности по конфигурирования системы для задач заказчика. Установки предназначены для груповой обработки пластин в том числе большого диаметра.  

Box Coaters самые большие по размерам установки позволяющая иметь большую гибкость по сравнению с другими. Улучшения в части большей двери и увеличения размера камеры позволяет производить групповую (серийную) обработку пластин и устанавливать большие по размеру источники. Установка для производства требующих установки большего количества различных источников в одной камере.

Возможность установки нескольких разных процессов в одной камере.   

Процессы:
резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation) 
магнетронное напыление (magnetron sputtering deposition)
электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation)
ионное напыление (ion-assisted deposition)

Особенности

• Возможность обрабатывать на пластины диаметром до 300 мм с заданием различной скорости вращения держателя

• Продвинутая система управления на базе ПК.

• Камера из алюминия или нержавеющей стали (опция) для группоповой обработки пластин.

• Длинная дистанция между источниками и подложкой.

• Наполнение различными источниками PVD процессов согласно требованиям заказчика.
• Поддержка нескольких разных PVD процессов в одной камере.
• Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов.
• Процесс последовательного или параллельного (co-deposition) напыления.

• Диаметр обрабатываемых подложек до 300мм. (пластины большего диаметра по запросу).

• Оснащение вакуумный загрузочным шлюзом (опция)

• Контроль вакуума и вакуумная система:

  - Автоматический форвакуумный насос

  - Сухие насосы (опция)

  - Высокий вакуум обеспечивается крио насосом или турбомолекулярным насосом 

  - Пневматически воздушный фильтр

• Управление процессом осаждения:

  - теневая маска и выравнивание подложки

  - легко и быстро устанавливаемые датчики для поддержки и контроля процесса

  - датчики скорости осаждения для контроля и управления процессом

  - конфигурация для реализации процесса соосаждения- co-deposition (параллельное осаждение нескольких материалов для получения сплава)

  - QCM - изолированный кварцевый датчик обеспечивает отсутствие интерференции при напылении от прилегающих источников или оптический контроль

  - Изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения от перекрестного напыления.

  - Нагрев или охлаждение подложки (по запросу), охлаждение или доп. смещение на подложку

  - Планетарное вращение (опция), напыление под различными углами (GLAD держатель - опция)