Вакуумная установка ионно-лучевого распыления Reticle (IBSD) производства Angstrom Engineering Inc. (Канада) - идеальное решение для распыления оптических покрытий очень высокого качества.

Технология ионно-лучевого распыления (IBSD) заключается в бомбардировке мишени заданного состава пучком ионов с энергией до 1200 эВ с последующим осаждением распыленного материала на подложку. При этом стехиометрия формируемого покрытия идентична мишени.

This is an ideal system for applications such as antireflective (AR) coatings, highly reflective (HR) coatings, coatings for laser diode bars, telecom optical filters, as well as vanadium oxide deposition

Angstrom разработал платформу Reticle (IBSD), которая предоставляет сообществу оптиков возможность создавать пленки с отличной чистотой, плотностью и однородностью, при очень высокой повторяемости и автоматизации. Ritecle - идеальная система для таких применений как, просветляющие покрытия (AR), высокоотражающие покрытия (HR), покрытия для диодных лазерных линеек, телекоммуникационные оптические фильтры, а также осаждение оксида ванадия.

Возможность установки нескольких разных процессов в одной камере.   

Вакуумный загрузочный шлюз

Процессы:
IBSD (Ion beam sputter deposition)

Особенности

• Возможность обрабатывать на пластины диаметром до 200 мм (или меньшего размера) с заданием различной скорости вращения держателя

• Продвинутая система управления на базе ПК.

• ICP-RF ионный источник для распыления + End-Hall ионный источних для ассистирования и очистки подложек.
• Высокий и ультра высоковакуумная система откачки
• до 8 источников распыления мишеней для напыления многослойных пленок
• Камера из алюминия или нержавеющей стали (опция).
• Подложкодержатель с изменией угла (до 90^o)
• Опционально вакуумный загрузочный шлюз
• Оптический контроль толщины и скорости роста пленки Apex 
• In-situ эллипсометрия или кварцевые датчики

• Управление процессом осаждения Areas