Газовые шкафы и системы доставки ультра чистых сред.
системы доставки ультрачистых (UHP) газов и сред включает:
- Газовые шкафы для 1, 2 или 3 газовых баллонов
- Распределительные клапана
- Корпуса газовых систем и газовые панели
- газовые системы для полупроводниковых производств
- Газовые панели по индивидуальному заказу
Газовые шкафы:
Конфигурации:
- Открытые, смонтированные на стене системы (для инертных газов)
- Газовые шкафы для одного баллона с продувкой из внешнего источника
- Газовые шкафы для двух баллонов
Исполнение:
- место для установки двух баллонов с продувкой из внешнего источника и системой автоматической смены баллона в случае окончания газа в первом
- 1 баллон для процессного газа, 1 баллон для продувки
- Газовые шкафы для трех баллонов (2 баллона для процессных газов и один баллон для продувки), автоматическая смена баллонов
Особенности системы управления:
- полностью автоматическая система управления и контроля с точскрин
монитором
- Автоматическая продувка
- Контроль давления в баллоне и контроль веса баллона
- Датчик давления для контроля давления снаружи
- программатор для контроля лимитов по давлению и весу баллона для переключения между баллонами
- Внешние цифровые вход и выход
- Ethernet для связи по сети