+7 (495) 909-89-53

Шлифовка и полировка пластин

Cтанок для шлифования и утонения обратной стороны пластин VRG-250

Полностью автоматический станок для шлифования обратной стороны пластин VRG-250

VRG-250 — полностью автоматический станок для шлифования обратной стороны (Back Side Grinding) производства корейско-китайской компании AM Technology Co., Ltd. (Корея - Китай)

Предназначен для высокоточного шлифования полупроводниковых пластин, подложек из сапфира, карбида кремния, керамики и других материалов. Ключевое оборудование для подготовки пластин в производстве микроэлектроники, светодиодов и силовой электроники.

Область применения:

  • Шлифование кремниевых пластин
  • Обработка пластин из карбида кремния и сапфира
  • Шлифование металлов, керамики, углеродных материалов, стекла и пластиков
  • Подготовка композитных материалов и LED-форм
  • Обработка корпусов для Fan-Out Wafer Level Package (FOWLP)
Пластины до Ø200мм.

Полностью автоматический станок для шлифования обратной стороны пластин VRG-250

VRG-250 — полностью автоматический станок для шлифования обратной стороны (Back Side Grinding) производства корейско-китайской компании AM Technology Co., Ltd. (Корея - Китай)

Предназначен для высокоточного шлифования полупроводниковых пластин, подложек из сапфира, карбида кремния, керамики и других материалов. Ключевое оборудование для подготовки пластин в производстве микроэлектроники, светодиодов и силовой электроники.

Область применения:

  • Шлифование кремниевых пластин
  • Обработка пластин из карбида кремния и сапфира
  • Шлифование металлов, керамики, углеродных материалов, стекла и пластиков
  • Подготовка композитных материалов и LED-форм
  • Обработка корпусов для Fan-Out Wafer Level Package (FOWLP)
Пластины до Ø200мм.

Автоматический станок двусторонней шлифования ADG-700

Автоматический станок двусторонней шлифования ADG-700

ADG-700 — полностью автоматическая установка двустороннего шлифования (Double Side Fine Grinding) производства корейско-китайской компании AM Technology Co., Ltd. (Корея - Китай).

Предназначена для высокоточной двусторонней обработки плоских заготовок из твёрдых и хрупких материалов. Обеспечивает идеальную параллельность, плоскостность и однородность толщины изделий. Ключевое оборудование для подготовки подложек в производстве полупроводников, светодиодов, силовой электроники и прецизионных механических компонентов.

Область применения:

  • Шлифование кремниевых пластин и пластин из карбида кремния
  • Обработка сапфировых подложек и оптического стекла
  • Шлифование металлокерамики, твёрдых сплавов, бронзы, алюминия
  • Обработка керамических подложек, циркония, ферритов
  • Шлифование композитных материалов, пластмасс, кварца
  • Обработка алмазных дисков для резки
Пластины до Ø300мм.

Автоматический станок двусторонней шлифования ADG-700

ADG-700 — полностью автоматическая установка двустороннего шлифования (Double Side Fine Grinding) производства корейско-китайской компании AM Technology Co., Ltd. (Корея - Китай).

Предназначена для высокоточной двусторонней обработки плоских заготовок из твёрдых и хрупких материалов. Обеспечивает идеальную параллельность, плоскостность и однородность толщины изделий. Ключевое оборудование для подготовки подложек в производстве полупроводников, светодиодов, силовой электроники и прецизионных механических компонентов.

Область применения:

  • Шлифование кремниевых пластин и пластин из карбида кремния
  • Обработка сапфировых подложек и оптического стекла
  • Шлифование металлокерамики, твёрдых сплавов, бронзы, алюминия
  • Обработка керамических подложек, циркония, ферритов
  • Шлифование композитных материалов, пластмасс, кварца
  • Обработка алмазных дисков для резки
Пластины до Ø300мм.

Станки односторонней полировки (ХМП) и планаризации серии ASL/ASP

Станки односторонней полировки (ХМП) и планаризации серии ASL/ASP

Серия ASL/ASP — серия автоматических станков односторонней полировки (DMP) и химико-механической планаризации (CMP) производства корейско-китайской компании AM Technology Co., Ltd. (Корея - Китай).

Оборудование предназначено для высокоточной финишной обработки поверхностей пластин и подложек из различных материалов. Обеспечивает исключительную плоскостность и чистоту поверхности, необходимые в производстве полупроводников, светодиодов, оптики и микроэлектроники. Станки доступны в двух типоразмерах — ASL/ASP-910 (для заготовок до 910 мм) и ASL/ASP-1300 (до 1270 мм).

Область применения:

  • Химико-механическая планаризация кремниевых пластин
  • Полировка сапфировых подложек и оптического стекла
  • Обработка подложек из кварца, керамики, металлов
  • Финишная обработка полупроводниковых пластин перед сборкой
  • Полировка и планаризация в производстве светодиодов (LED)
  • Обработка заготовок для микроэлектромеханических систем (МЭМС)
Пластины до Ø300мм.

Станки односторонней полировки (ХМП) и планаризации серии ASL/ASP

Серия ASL/ASP — серия автоматических станков односторонней полировки (DMP) и химико-механической планаризации (CMP) производства корейско-китайской компании AM Technology Co., Ltd. (Корея - Китай).

Оборудование предназначено для высокоточной финишной обработки поверхностей пластин и подложек из различных материалов. Обеспечивает исключительную плоскостность и чистоту поверхности, необходимые в производстве полупроводников, светодиодов, оптики и микроэлектроники. Станки доступны в двух типоразмерах — ASL/ASP-910 (для заготовок до 910 мм) и ASL/ASP-1300 (до 1270 мм).

Область применения:

  • Химико-механическая планаризация кремниевых пластин
  • Полировка сапфировых подложек и оптического стекла
  • Обработка подложек из кварца, керамики, металлов
  • Финишная обработка полупроводниковых пластин перед сборкой
  • Полировка и планаризация в производстве светодиодов (LED)
  • Обработка заготовок для микроэлектромеханических систем (МЭМС)
Пластины до Ø300мм.

Уже установлено в России и СНГ: 1 шт


Шлифовка – это процесс обработки полупроводниковых пластин твердыми шлифовальными дисками с абразивными порошками или суспезниями. Шлифовку можно разделить на предварительную и окончательную. Предварительная шлифовка производится абразивными порошками с более крупными частицами. Она нужна для того, чтобы быстро выровнять плоскость пластины и удалить технологические припуски. Окончательная шлифовка нужна для дальнейшего улучшения геометрических параметров пластины и точности размеров. Утонение пластин так же осуществляется путем шлифования. 

Полирование – это процесс улучшения качества поверхности, путем снятия тончайших слоев материала. Полировку проводят специальными полировочными дисками или тканями (сукном). В качестве абразивного материала используют микропорошки или готовые суспезнии с содержанием синтетического алмаза, оксидов алюминия и диоксида кремния. 

На нашем сайте представлены модели станков для шлифовки и полировки различных полупроводниковых пластин. Представлены станки, рассчитанные на серийную работу для пластин средних и больших размеров, а также, модели для обработки тонких и хрупких образцов.