Системы для автоматической загрузки/выгрузки пластин

Роботизированные системы для автоматической загрузки/выгрузки кремниевых пластин в полупроводниковом производстве включают:

• EFEM (Equipment Front End Module) – Интерфейс между оборудованием и системой транспортировки пластин.

• Load Ports – Устройства загрузки/выгрузки пластин в контейнерах (FOUP, SMIF).

• Роботы-манипуляторы – Для точного перемещения пластин между этапами обработки.

• Aligener системы - системы выравнивания пластин 

Оборудование используется на этапах:

• Фотолитография – Загрузка пластин в степперы/сканеры.

• Эпитаксия, травление, осаждение – Перемещение между камерами обработки.

• Инспекция и измерения – Автоматическая подача на метрологию.

• Полировка и очистка пластин - Загрузка и перемещение пламтин между модулями

Конкурентные преимущества

✅ Высокая точность – Позиционирование с точностью до микрона.
✅ Скорость – Минимизация времени загрузки (например, <3 сек на пластину).
✅ Совместимость – Работа с FOUP, SMIF, открытыми кассетами.
✅ Надежность – Минимизация частиц и загрязнений (критично для 3 нм и ниже).