Роботы-манипуляторы для загрузки и выгрузки пластин и шаблонов

Роботы компании предназначенные для высокоточного перемещения кремниевых пластин в полупроводниковом производстве.

Ключевые особенности

• 2-осевые , 3-осевые и 4-осевые конструкции + Dual-Z механизм

  • Основные оси (X, Y, Z, θ) обеспечивают точное позиционирование.

  • Dual-Z (двойная ось Z) позволяет независимо управлять двумя захватами (эндофлекторами), что ускоряет загрузку/разгрузку пластин.

• Высокая скорость и точность

  • Скорость: до 1,500 мм/с (зависит от модели).

  • Точность позиционирования: ±0.05 мм (для критичных процессов).

• Чистота и совместимость

  • Соответствие стандартам SEMI (чистота ISO Class 3-4).

  • Совместимость с стандартными кассетами (FOUP, SMIF, OPEN Cassette).

• Гибкость применения

  • Используется в EFEM (Equipment Front End Module) и загрузочных модулях.

  • Поддержка пластин 100 мм / 150мм / 200 мм / 300 мм (опционально другие размеры).