Сортировщик пластин (Wafer Sorter) с загрузочными портами

Сортировщик пластин (Wafer Sorter) с загрузочными портами

Высокоточный сортировщик пластин для полупроводникового производства с двумя тремя или четырмя загрузочными портами. Обеспечивает автоматическую загрузку, выгрузку и сортировку  пластин в условиях чистых помещений. Совместим с FOUP, SMIF для 200 мм и 300 мм пластин и др. диаметра.

Особенности

• Тип оборудования Автоматический сортировщик пластин
• Количество загрузочных портов 2, 3 или 4
• Совместимые пластины 200 мм, 300 мм и др. размер
• Скорость обработки До XX пластин/час (уточняется)
• Класс чистоты ISO Class 1-4
• Интерфейс SECS/GEM, совместимость с MES

Ключевые преимущества:

• Высокая производительность – быстрая сортировка пластин
• Точное позиционирование – минимальный риск повреждений
• Компактный дизайн – экономия места в чистой комнате
• Надежность – стабильная работа 24/7
• Совместимость – интеграция с FOUP и производственными системами

Область применения:

• Полупроводниковые фабрики
• Производство микросхем и солнечных элементов
• Исследовательские лаборатории

• Основной модуль сортировщика
• Система управления
• Документация (руководство, сертификаты)
• Опционально: дополнительные загрузочные порты, кастомизированные настройки

Дополнительные услуги:

• Пусконаладка и обучение персонала
• Техническая поддержка
• Гарантийное и постгарантийное обслуживание