Автоматизированная SMIF система обработки пластин

Автоматизированная SMIF система обработки пластин

SMIF Standard – это высокоточная автоматизированная система для загрузки, выгрузки и транспортировки 150, 200-мм полупроводниковых пластин в SMIF-контейнерах. Совместима с международными стандартами SEMI E15.1, обеспечивает минимальный риск загрязнения и максимальную эффективность в чистых комнатах.

Основные характеристики:

• Совместимость: 150 или 200-мм SMIF-контейнеры (SEMI E15.1)
• Точность позиционирования: ±0,1 мм
• Скорость обработки: до 30 контейнеров в час
• Интеграция: Совместима с EFEM, Load Port и другими системами
• Чистота: Соответствует классу ISO 3-4 (чистые комнаты)
• Автоматизация: Полностью роботизированная загрузка/разгрузка

Ключевые преимущества:

• Надежность: Минимизация человеческого фактора и риска повреждения пластин
• Эффективность: Ускорение производственных процессов за счет автоматизации
• Гибкость: Легкая интеграция в существующие линии производства
• Соответствие стандартам: SEMI, ISO, CE

Область применения:

• Полупроводниковые фабрики
• Производство микроэлектроники
• Исследовательские центры и лаборатории

Дополнительные услуги:

• Пусконаладка и обучение персонала
• Техническая поддержка
• Гарантийное и постгарантийное обслуживание