Выравниватели (aligner) для загрузки пластин

Высокоточная система автоматического позиционирования пластин с CCD-камерой и уникальным алгоритмом для быстрого выравнивания. Совместима с прозрачными, толстыми, тонкими и деформированными кремниевыми пластинами, включая пластины с вырезом (notch), одной или двумя плоскими срезами (flat, dual-flat). Идеально для полупроводникового производства, фотоники и микроэлектроники.

Особенности

• Высокочувствительная CCD-камера для точного распознавания и определения местоположения.

• Уникальный алгоритм для быстрого позиционирования и выравнивания.

• Универсальная совместимость с прозрачными, сверхтолстыми, сверхтонкими и деформированными пластинами.

• Интеллектуальное обнаружение – поддерживает пластины с вырезом, одной или двумя плоскими гранями.

• Двухплоскостное выравнивание (dual-flat)

• Точность позиционирования ±1 мкм

• Поддержка warped wafers

• Интеллектуальное обнаружение граней

• Совместимость с 200 мм / 300 мм пластинами и другими размерами