THK-Ms -полуавтоматиеские высокоточные и полностью автоматические системы для бесконтактного измерения геометрии и механических напряжений полупроводниковых пластин Si, GaAs, InP, Ge, SiC, Сапфира и др. Системы предназначены для контроля ключевых параметров, таких как толщина, плоскостность (TTV, Bow, Warp), прогиба и коробления, а также распределение напряжений в тонких пленках.

Измерение (карториование) на пластинах диаметром от 52 мм (2") до 300 мм (12") и толщиной до 2000 мкм.  

Особенности

• Высокая точность – разрешение до 0,001 мкм для измерения толщины и 0,1 кПа для напряжений.
• Широкий диапазон измерений – толщина от 20 мкм до 2000 мкм, напряжения от -5 ГПа до +5 ГПа.
• Универсальность – совместимость с пластинами из Si, сапфира, GaAs, GaN, SiC и других материалов.
• Автоматизация – поддержка 4, 6, 8 и 12 дюймовых пластин, несколько режимов сканирования (линейное, кросс, полная карта).
• Программное обеспечение – удобный интерфейс, экспорт отчетов в PDF и Excel, база данных измерений.
• Быстрая интеграция – поставка в течение 120 дней, установка и обучение за 7 рабочих дней.

Применение

Полупроводниковая промышленность – контроль качества кремниевых пластин.
Производство светодиодов (LED) – анализ напряжений в структурах GaN/SiC/Si.
Фотовольтаика – контроль геометрии солнечных элементов.