+7 (495) 909-89-53

О компании

 Компания «МИНАТЕХ» (микро и нано технологии) осуществляет комплексное оснащение предприятий технологическим и аналитическим оборудованием в области микроэлектроники,  полупроводникового производства и исследований, нанотехнологий, а также поставки оборудования для обеспечения соответствующих производств, включая материалы.

За прошедшие годы компании и нашим сотрудникам удалось приобрести немалый опыт сотрудничества с предприятиями и производителями высококлассного оборудования для производства и исследования в микроэлектронике и нанотехнологиях, а также в специфических областях исследований.  Результатом работы стали многочисленные поставки новейшего технологического и аналитического оборудования для ведущих промышленных предприятий и институтов в России, а также подписание целого ряда дилерских соглашений с мировыми производителями полупроводникового оборудования.

Компания «МИНАТЕХ» (микро и нано технологии) сегодня - это слаженно работающий профессиональный коллектив, способный выполнить задачи различной степени сложности и предложить оптимальное решение как для производственных задач, так и для сложных задач разработки и исследования.

Всегда рады направить наш профессионализм и опыт для решения Ваших задач.

Направление деятельности

ТЕХНОЛОГИИ

  • Кристальное производство и исследования
  • Полупроводники
  • Оптика
  • Нанотехнологии
  • Модификация поверхности материалов
  • Метрология тонких пленок и морфология поверхности
  • Микроскопия, элементный анализ

ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

  • Плазменное травление (RIE, ICP-RIE) 
  • Плазменное осаждение диэлектриков (PECVD, ICPECVD)
  • Атомно-слоевое осаждение (ALD, PEALD, Thermal ALD, ICPECVD-ALD)
  • Осаждение (SprayCVD, MOCVD, LPCVD)
  • Плазменная очистка
  • Контактная оптическая литография
  • Безсмасковая (лазерная) литография
  • Безсмасковое совмещение и экспонирование
  • Электронно-лучевая литография
  • Вакуумное напыление
  • Быстрые термическое процессы (RTP)
  • Диффузионные печи
  • Очистка пластин и фотошаблонов
  • Декапсуляция и обратный процессинг
  • Шлифовка и полировка пластин
  • Дисковая резка пластин

АНАЛИТИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

  • Лазерные и спектроскопические эллипсометры
  • Определение удельного поверхностного сопротивления слоев
  • Оптические профилометры
  • Оптические микроскопы
  • Зондовые станции
  • Метрология пластин и анализ пленок
  • Электронная микроскопия (сканирующая и просвечивающая)
  • Анализаторы поверхности
  • Дифрактометрия 

ОБЕСПЕЧЕНИЕ ПРОИЗВОДСТВА

НАШИ ЗАКАЗЧИКИ:


ФГУП ПО СТАРТ_безмасковая литография Арзамасский приборный завод_алмазная суспензия Азия цемент_алмазный отрезной диск НИИИС им.Седакова_полировальная ткань


Неофотоникс_монокрсталлические алмазы Авиационный регистр_полировальная суспензия Алмаз-Фазотрон_лазерная литография АО Протон_безмасковое совмещение и экспонирование 

ВНИИНМ им Бочвара_очистка газов УПКБ Деталь_центрифуга для нанесения фоторезиста Нефтепродукт_алмазная паста ЗНТЦ_мишени для магнетронного распыления 

Ижевский радиозавод_производство фотошаблонов ИРЭ Полюс_суспензия для полировки лазеров Красное знамя_настольная безмасковая литография    Группа Кремний_безмасковое совмещение и экспонирование   

Машиностроительный холдинг_полировальное сукно НИКИЭТ_вакуумные насосы НИИ точных приборов_полировальное сукно     

ТОПЭ_контактная фотолитография Оптосенс_совмещение и экспонирование СИгнал_лазеры для установок литографии  НИИ ПОЛЮС_оптический инспекционный микроскоп 

Связь инжиниринг_алмазная паста для полировки Сколтех_оборудование для квантовых вычислений  РОСОМЗ_измерение тонких пленок   ТЕхноэксан_сервис оборудования микроэлектроники 

Фомос-Материалс_полировка лангасита  Мелситех_шлифовальая бумага для шлифовки Российский квантовый центр_лазерный генератор изображения  ФТИ Иоффе_плазменная очистка 

Академический университет_интерферометр Renishaw  Геофизика-НВ_ткань для полировки Гознак_SiC шлифовальная бумага ИФМ_активация поверхности в плазме 

КНИРТИ_лазерная безмасковая литография Комберри_полировальные материалы ФНИЦ Кристаллография и фотоника РАН_резистивное вакуумное напыление  ЛЭМЗ_плазменная очистка и активация поверхности  

         НИТЭЛ-установка совмещения и экспонирования        НПО УВН_спектроскопический эллипсометр  НПП САЛЮТ_оксидная полировальная суспензия 

Светлана-электронприбор_полировка SiC_PVT рост кристаллов SiC  Томский политехнический университет_полировальное сукно   Центральный научно-исследовательский институт химии и механики ЦНИИХМ_ИК-Фурье эллипсометр   Институт химии и технологии редких элементов и минерального сырья им. И.В.Тананаева_алмазные суспензии для полировки

ИБХ РАН_плазменная активация поверхности ИФПМ СО РАН_вакуумное напыление тонких пленок Омский государственный университет_коллоидная полировальная суспезния SiO2 АО Росскийские космические системы_установка плазменного травления в индуктивно-связанной плазме 


Институт физики металов_вакуумное магнетронное распыление НПО Ленинец_3D оптический профилометр Profilm3D Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова_электронно-лучевое испарение металлов Сеспель_бакелит для горячей запрессовки 


ТИСНУМ_3D оптический профилометр-конфокальный микроскоп  Геофизика-космос_плазменная очистка поверхности Diener  ИПТМ РАН_нанесение и проявление фоторезиста Исток_рефлектометр для измерения тонких пленок 

НПО Орион_финишная полировки кристаллов A3B5  РХТУ им Менделеева_спектральный эллипсометр_измерение тонких пленок  ФИАН_атомно-слоеве осаждение_АСО_ALD УПКБ_быстрый термический отжиг пластин_вжигание омических контактов 


МФТИ_снятие фоторезиста_спектральная элипсометрия КУРС_полировальное сукноИТЭР Центр_оптический профилометр_настольная безмасковая литография АО Гирооптика_стилусный профилометр

МИКРАН_оптический микроскоп   АСТРОН_зондовая станция  Новосибирский стрелочный завод_алмазный отрезной диск Полиметалл_поликристаллическая алмазная суспензия 

ИФХ РАН_обработка пластин в плазме Национальный исследовательский Мордовский государственный университет_шлифовка и полировка_металлография БГТУ Шухова_алмазный шлифовальный диск  ИФТТ РАН_mMLA_литография_квантовый компьютер  

ВИЛС_шлифовка и полировка  Оптрон_растровый сканирующий микроскоп ФГУП ГХК_Росатом_алмазный отрезной диск  ИСЭ СО РАН_лазерный эллипсометр 

НИИЭП_проявление фоторезиста  СКОНТЕЛ_измерение толщины тонких пленок Авангард_зондовые измерения  НАМИ_суспезния алмазная_полировка металлов 

ОДК Пермские моторы_металлография_подготовка поверхности Темп-Авиа_измерение удельного сопротивления НПО ЛУЧ_IBSD Металлургический завод_порошок Al2O3 для полировки 

ИСПМ РАН_снятие фоторезиста плазмой ВНИИФТРИ_активная виброизоляция Сеченовский университет_виброизоляция Accurion  Максрооптика_полировка оксидами
 НЗЛ_платформа для активной виброизоляции ИСВЧПЭ РАН_нанолитография  СКТБРТ_быстрый теримический отжиг
 
ОКБ планета_вжигание омических контактов  Томский государственный унивнрситет_плазменное травление наноструктур ТУСУР_осаждение диэлектриков ОИВТ РАН_реактивно-ионное травление
 Институт физики прочности_рефлектометр