EFEM (Equipment Front End Module) загрузчики с загрузочными портами

EFEM (Equipment Front End Module) загрузчики с загрузочными портами

Особенности

EFEM с 2-мя, 3-мя или 4-мя загрузочными портами:

• Два, три или четыре загрузочных порта – Поддерживает два контейнера FOUP и SMIF для перемещения кремниевых пластин.

• Высокоскоростная передача – Роботизированная система для быстрой и точной загрузки/выгрузки пластин.

• Компактная конструкция – Оптимизирована для работы в условиях чистых помещений.

• Совместимость – Работает с пластинами разных размеров (200 мм, 300 мм и др.) и технологическим оборудованием.

• Точное позиционирование – Системы выравнивания и датчики для минимизации ошибок.

• Соответствие стандартам чистоты – Соответствует классам чистоты ISO 1-4.

• Совместим с оборудованием AMAT, LAM, ACM, VEECO и др. 

Применение:

• Производство полупроводников – Передача пластин между FOUP и технологическими установками.

• Автоматизация фабрик – Интеграция в производственные линии для повышения эффективности.