Станки односторонней полировки (ХМП) и планаризации серии ASL/ASP

Серия ASL/ASP — серия автоматических станков односторонней полировки (DMP) и химико-механической планаризации (CMP) производства корейско-китайской компании AM Technology Co., Ltd. (Корея - Китай).

Оборудование предназначено для высокоточной финишной обработки поверхностей пластин и подложек из различных материалов. Обеспечивает исключительную плоскостность и чистоту поверхности, необходимые в производстве полупроводников, светодиодов, оптики и микроэлектроники. Станки доступны в двух типоразмерах — ASL/ASP-910 (для заготовок до 910 мм) и ASL/ASP-1300 (до 1270 мм).

Область применения:

• Химико-механическая планаризация кремниевых пластин
• Полировка сапфировых подложек и оптического стекла
• Обработка подложек из кварца, керамики, металлов
• Финишная обработка полупроводниковых пластин перед сборкой
• Полировка и планаризация в производстве светодиодов (LED)
• Обработка заготовок для микроэлектромеханических систем (МЭМС)

Пластины до Ø300мм.

Особенности

• Прочная конструкция — 4 сбалансированные опоры обеспечивают точный контроль давления на всех 4 станциях; чугунная станина и цилиндровое основание
• Автоматическая система индексного позиционирования — автоматическое выравнивание блока для совмещения с прижимной плитой
• Оптимизированное ПО для DMP/CMP — до 5 шагов управления давлением, скоростью и временем
• Система охлаждения главной и прижимной плит — поддержание плоскостности в условиях нагрева, обеспечение стабильных условий полировки
• Гидростатический правящий узел (для DMP) — поддержание идеальной плоскостности плиты без её разборки, высочайшая прямолинейность
• Автоматический узел очистки полировального круга (для CMP) — поддержание оптимального состояния круга
• Высокая производительность — 4 независимые станции обработки