Установка напыления Amod

Вакуумная установка Amod производства Angstrom Engineering Inc. (Канада) - сконструирована и разработана для удовлетворения продвинутых требований к процессам в одной машине для исследований в области напыления тонких пленок и мелкосерийного производства. 

Системы линейки Åmod – установки сконфигурированы и сконструированы для напыления тонких пленок для удовлетворения самых продвинутых требований заказчика к процессам напыления и исследования тонких пленок. Флагманская установка линейки моделей компании Angstrom Engineering полностью удовлетворяет требованиям заказчика и может даже быть составной частью кластерной системы. Программное обеспечение производства Angstrom Engineering объединяет множество различных компонентов системы, выдавая самую важную информацию по щелчку мыши.

Возможность установки нескольких разных процессов в одной камере.   

Процессы:
резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation) 
магнетронное напыление (magnetron sputtering deposition)
электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation)
ионное напыление (ion-assisted deposition)

Особенности

• Возможность обрабатывать на пластины диаметром до 300 мм (или до 3 х 100 мм, 150 х 150 мм) с заданием различной скорости вращения держателя

• Продвинутая система управления на базе ПК.

• Камера из алюминия или нержавеющей стали (опция).

• Конструкция готовая к интегрированию в перчаточный бокс (опция).

• Наполнение различными источниками PVD процессов согласно требованиям заказчика.

• Поддержка нескольких разных PVD процессов в одной камере.

• 1600мм х 1000мм - площадь занимаемая системой.

• 500мм x 500мм x 500мм высотой камера с выдвижной дверью на петлях (возможна D-образная камера)

• Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов.

• Процесс последовательного или параллельного (co-deposition) напыления.

• Оснащение вакуумный загрузочным шлюзом (опция).

• Контроль вакуума и вакуумная система:

  - Автоматический форвакуумный насос

  - Сухие насосы (опция)

  - Высокий вакуум обеспечивается крио насосом или турбомолекулярным насосом 

  - Пневматически воздушный фильтр

• Управление процессом осаждения:

  - теневая маска и выравнивание подложки

  - легко и быстро устанавливаемые датчики для поддержки и контроля процесса

  - датчики скорости осаждения для контроля и управления процессом

  - конфигурация для реализации процесса соосаждения- co-deposition (параллельное осаждение нескольких материалов для получения сплава)

  - QCM - изолированный кварцевый датчик обеспечивает отсутствие интерференции при напылении от прилегающих источников

  - Изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения от перекрестного напыления.

  - Нагрев подложки, охлаждение или доп. смещение на подложку

  - Планетарное вращение (опция), напыление под различными углами (GLAD держатель- опци)