MINILAB - полностью укомплектованная литографическая лаборатория, производства MIDAS SYSTEM (Корея) включающая центрифугу для нанесения фоторезиста, термостолик сушки и задубливания и станцию (генератор) деионизованной воды.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 100 мм (до 150 мм - опция)
Состав мини лаборатории:
- Центрифуга нанесения фоторезиста - SPIN-1200T
- Термостолик для сушки и задубливания
- Генератор деионизованной воды
- N2 и DIW пистолеты
- Кабинет
Размеры минилаборатории: 1000(Ш)x560(Г)x1630(В)
| ЦЕНТРИФУГА | |
| Размер подложки | от 5х5 мм до 100 мм (до 150 мм - опция) |
| Скорость вращения | от 300 до 10000 об/мин +/-1% для не загруженного держателя |
| Ускорение | Ускорение и скорость задается оператором |
| Управление | Цветной touch screen дисплей, 20 рецептов, 50 шагов |
| Размер барабана | 8 дюймов, материал Ацеталь |
| Мотор | DC сервомотор |
| Корпус | Нержавеющая сталь |
| Вакуумный прижим | Анодированный алюминий |
| Электропитание | 220 В, 50 Гц. |
| Размеры | 230 х 340 х 260 мм. |
| ТЕРМОСТОЛИК | |
| Управление | Цифровой дисплей, программирование до 8 шагов |
| Размер плиты | 170х170 мм |
| Максимальная температура | 350 oC |
| Размеры | 240×280×90 мм |
| DIW генератор | |
| Производительность | 10 литров в час |
| Управление | LED дисплей |
| Вода | 25 мкСм/см |
| Емкость | 20 литров |
| Размеры | 350х350х500 мм |
Термоплитка для сушки и задубливания фоторезиста, модель HP10 от LEBO Science (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 220х220 мм.
Максимальная температура: 300 oC
Ручное управление с кнопок
Термоплитка для сушки и задубливания фоторезиста, модель HP10 от LEBO Science (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 220х220 мм.
Максимальная температура: 300 oC
Ручное управление с кнопок
Установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC1000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 200х200 мм.
Перемещение по XY: 200 x 200 мм
Размеры установки: 650 мм x 600 мм x 870 мм (ГxШxВ)
Установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC1000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 200х200 мм.
Перемещение по XY: 200 x 200 мм
Размеры установки: 650 мм x 600 мм x 870 мм (ГxШxВ)
Термоплитка для сушки и задубливания фоторезиста, модель HP100-PA от LEBO Science (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 220х220 мм.
Цифровой 7" PLC дисплей
Максимальная температура: 300 oC
Lift-pins
Продувка азота под крышку
Термоплитка для сушки и задубливания фоторезиста, модель HP100-PA от LEBO Science (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 220х220 мм.
Цифровой 7" PLC дисплей
Максимальная температура: 300 oC
Lift-pins
Продувка азота под крышку
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
