Термоплитка для сушки и задубливания фоторезиста, модель HP100-PA от LEBO Science (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 220х220 мм.
Цифровой 7" PLC дисплей
Максимальная температура: 300 oC
Lift-pins
Продувка азота под крышку
Цифровой дисплей 7”, управление PLC, стилус для сенсорного экрана
| Размер подложки | от 5х5 мм до 220x220 мм |
| Максимальная температура | 300 oC |
| Диапазон температуры | Комнатная до 300 oC |
| Разрешение температуры | 0.1 oC |
| Точность контроля температуры | ±0.2 oC |
| Управление процессом | до 30 шагов |
| Управление | Программатор, LCD дисплей. |
| Время | Диапазон установки времени: от 1 минуты до 999999 сек |
| Плита | алюминий |
| Электропитание | 100V, 50/60Hz |
| Размеры | 350x500x320 мм. |
Центрифуга SPIN-4000A производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с автоматическим дозированием фоторезиста или проявителя и программатором (touch screen дисплей) для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 300 мм
AC сервомотор
Центрифуга SPIN-4000A производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с автоматическим дозированием фоторезиста или проявителя и программатором (touch screen дисплей) для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 300 мм
AC сервомотор
Термоплитка для сушки и задубливания фоторезиста, модель HP10 от LEBO Science (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 220х220 мм.
Максимальная температура: 300 oC
Ручное управление с кнопок
Термоплитка для сушки и задубливания фоторезиста, модель HP10 от LEBO Science (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 220х220 мм.
Максимальная температура: 300 oC
Ручное управление с кнопок
Продвинутая установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC4000L производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 400х400 мм.
Перемещение по XY: 400 x 400 мм
Размеры установки: 1040 мм x 750 мм x 950 мм (ГxШxВ)
Продвинутая установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC4000L производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 400х400 мм.
Перемещение по XY: 400 x 400 мм
Размеры установки: 1040 мм x 750 мм x 950 мм (ГxШxВ)