Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления и сушки фоторезиста MDS-ASC

Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления фоторезиста MDS-ASC производства MIDAS SYSTEM (Ю. Корея).

Данная система имеет высокую производительность и низкую стоимость эксплуатации, гибкие опциональные возможности комплектации, модульная конструкция позволяет комплектовать каждую систему под индивидуальные нужды заказчика. Система идеально подходит для работы со степпером и автоматическими установками совмещения.

MDS-ASC – это полностью автоматизированная трековая система, предназначенная для высокоточного нанесения, проявления и сушки фоторезиста в процессах фотолитографии. Оборудование обеспечивает стабильность и воспроизводимость результатов, что делает его незаменимым в производстве микроэлектроники, полупроводниковых устройств и научных исследованиях.

Особенности

• Гибкая модульная конструкция
• Полная автоматизация – минимизация ручного вмешательства
• Высокая производительность (зависит от количества установленных модулей и рецепта)
• Собственная встроенная климатическая система
• Высокий показатель однородности слоя по пластине
• Высокий показатель воспроизводимости процесса от пластины к пластине
• Установка горячих (HP) или холодной плиты (CP) для сушки резиста
• Установка HMDS (опция) 
• Возможность установки EBR (Edge Bead Removal) модуля удаления валика на краю пластины
• Возможность установки BSRN (Back Side Rinse Nozzle) модуля отмывки обратной стороны
• Удобное и интуитивно понятное программное обеспечение для работы с системой и создания готовых рецептов
• Компактная архитектура с роботом и кассетами, расположенным по центру
• Параллельная потоковая работа с подложками разных размеров позволяет оптимально использовать мощности системы
• Высокое качество нанесения на квадратные подложки без сбора фоторезиста по углам

Области применения:

• Производство микросхем и полупроводников

• Нанотехнологии и MEMS-устройства

• Оптоэлектроника и сенсоры

• Лабораторные исследования в микроэлектронике