Продвинутая настольная установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC4000L производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 400х400 мм.
Перемещение по XY: 400 x 400 мм
Размеры установки: 1040 мм x 750 мм x 950 мм (ГxШxВ)
Вес: 187 кг.
UEC (Ultrasonic Electronic Coater)
| Размер подложки | от 5х5 мм до 400x400 мм |
| Перемещение дозатора по осям XYZ | X- 400 мм Y - 400 мм Z - NA |
| Управление | Программатор, PLC контроль с 7" touch screen дисплеем. |
| Автодиспенсер и сопло дозатора | сопло (ширина нанесения 10-80 мм) |
| Подача фоторезиста | УЗ генератор 120 кГц |
| Корпус | Нержавеющая сталь |
| Столик с нагревом | Анодированный алюминий, до 150 оС |
| Вакуумный прижим | есть |
| Электропитание | 220 В, 50 Гц. |
| Размеры | 1040 мм x 750 мм x 950 мм (ГxШxВ) |
Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления фоторезиста серии DAVID производства CND PLUS (Ю. Корея).
Автоматическая трековая система обеспечивает работу с пластинами до 300 мм и квадратными подложками до 200х200мм, так же возможна единовременная работа с пластинами двух типов 2-4”, 4-6”, 6-8” и 8-12”, встроенная климатическая система обеспечивает стабильные параметры микроклимата в процессной камере. Система соответствует всем техническим требованиям нанесения тонкопленочных и толстопленочных покрытий и проявления фоторезиста.
Кассетная загрузка. FOUP кассета опционально.
Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления фоторезиста серии DAVID производства CND PLUS (Ю. Корея).
Автоматическая трековая система обеспечивает работу с пластинами до 300 мм и квадратными подложками до 200х200мм, так же возможна единовременная работа с пластинами двух типов 2-4”, 4-6”, 6-8” и 8-12”, встроенная климатическая система обеспечивает стабильные параметры микроклимата в процессной камере. Система соответствует всем техническим требованиям нанесения тонкопленочных и толстопленочных покрытий и проявления фоторезиста.
Кассетная загрузка. FOUP кассета опционально.
Продвинутая установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC6000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 500х500 мм.
Перемещение по XY: 500 x 500 мм
Размеры установки: 1600 мм x 1000 мм x 1850 мм (ГxШxВ)
Продвинутая установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC6000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 500х500 мм.
Перемещение по XY: 500 x 500 мм
Размеры установки: 1600 мм x 1000 мм x 1850 мм (ГxШxВ)
Центрифуга SPIN-4000A производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с автоматическим дозированием фоторезиста или проявителя и программатором (touch screen дисплей) для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 300 мм
AC сервомотор
Центрифуга SPIN-4000A производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с автоматическим дозированием фоторезиста или проявителя и программатором (touch screen дисплей) для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 300 мм
AC сервомотор
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
