Термоплитка для сушки фоторезиста ND-1 от AS One (Япония).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 170х170 мм.
Цифровой дисплей
Максимальная температура: 350 oC
| Размер подложки | от 5х5 мм до 170x170 мм |
| Максимальная температура | 350 oC |
| Диапазон температуры | Комнатная до 350 oC |
| Точность поддержани температуры | 0.1 oC |
| Управление процессом | до 8 шагов |
| Управление | Программатор, LCD дисплей. |
| Время | Диапазон установки времени: от 1 минуты до 100 часов (1-минута цена деления) |
| Плита | алюминий с керамическим покрытием |
| Электропитание | 100V, 50/60Hz |
| Размеры | 240x280x90 мм. |
Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления фоторезиста MDS-ASC производства MIDAS SYSTEM (Ю. Корея).
Автоматическая трековая система MDS-ASC обеспечивает работу с пластинами до 200 мм и квадратными подложками до 150х150мм, так же возможна единовременная работа с пластинами двух типов 2-4”, 4-6” и 6-8”, встроенная климатическая система обеспечивает стабильные параметры микроклимата в процессной камере. Система соответствует всем техническим требованиям нанесения тонкопленочных и толстопленочных покрытий и проявления фоторезиста.
Кассетная загрузка.
Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления фоторезиста MDS-ASC производства MIDAS SYSTEM (Ю. Корея).
Автоматическая трековая система MDS-ASC обеспечивает работу с пластинами до 200 мм и квадратными подложками до 150х150мм, так же возможна единовременная работа с пластинами двух типов 2-4”, 4-6” и 6-8”, встроенная климатическая система обеспечивает стабильные параметры микроклимата в процессной камере. Система соответствует всем техническим требованиям нанесения тонкопленочных и толстопленочных покрытий и проявления фоторезиста.
Кассетная загрузка.
Центрифуга SPIN-5000A для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с автоматическим дозированием фоторезиста или проявителя и программатором (touch screen дисплей) для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 500х500 мм.
AC сервомотор
Центрифуга SPIN-5000A для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с автоматическим дозированием фоторезиста или проявителя и программатором (touch screen дисплей) для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 500х500 мм.
AC сервомотор
Настольная лабораторная центрифуга SPIN-3000D производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и программатором для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 150 мм
Настольная лабораторная центрифуга SPIN-3000D производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и программатором для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 150 мм
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
