Термоплитка для сушки фоторезиста ND-1 от AS One (Япония).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 170х170 мм.
Цифровой дисплей
Максимальная температура: 350 oC
Размер подложки | от 5х5 мм до 170x170 мм |
Максимальная температура | 350 oC |
Диапазон температуры | Комнатная до 350 oC |
Точность поддержани температуры | 0.1 oC |
Управление процессом | до 8 шагов |
Управление | Программатор, LCD дисплей. |
Время | Диапазон установки времени: от 1 минуты до 100 часов (1-минута цена деления) |
Плита | алюминий с керамическим покрытием |
Электропитание | 100V, 50/60Hz |
Размеры | 240x280x90 мм. |
Настольная лабораторная центрифуга SPIN-3000A производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и программатором для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 200 мм
AC сервомотор
Настольная лабораторная центрифуга SPIN-3000A производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и программатором для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 200 мм
AC сервомотор
Установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC1000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 200х200 мм.
Перемещение по XY: 200 x 200 мм
Размеры установки: 650 мм x 600 мм x 870 мм (ГxШxВ)
Установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC1000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 200х200 мм.
Перемещение по XY: 200 x 200 мм
Размеры установки: 650 мм x 600 мм x 870 мм (ГxШxВ)
Продвинутая установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC6000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 500х500 мм.
Перемещение по XY: 500 x 500 мм
Размеры установки: 1600 мм x 1000 мм x 1850 мм (ГxШxВ)
Продвинутая установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC6000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 500х500 мм.
Перемещение по XY: 500 x 500 мм
Размеры установки: 1600 мм x 1000 мм x 1850 мм (ГxШxВ)