Спектроскопические эллипсометры SENresearch 4.0 для исследований и производства

SENresearch 4.0 - серия новейших спектроскопических эллипсометров производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с диапазоном длин волн: DUV-VIS-NIR (ГУФ-ВИД-ИК) специально разработанных для исследований с возможностью проведения измерений толщин одно-  и многослойных пленок и пленочных структур под различными углами и для измерения оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей в УФ и видимого и ИК диапазонах длин волн. Измерение нанопленок.

Спектральный диапазон: от 190 до 3500 нм (в зависимости от модели)
ACT (автоколлиматический телескоп) для выравнивания образца
SpectraRay/4 программный пакет
Толщина пленок: от 1 Å до 200 мкм
Большое количество опций

Линейка моделей серии SENresearch 4.0:
SER 800: спектральный диапазон 240-1000 нм
SER 800 DUV: спектральный диапазон 190-1000 нм
SER 850: спектральный диапазон 240-2500 нм (3500 нм - опция)
SER 850 Z: спектральный диапазон 240-1700 нм (3500 нм - опция)
SER 850 DUV: спектральный диапазон 190-2500 нм (3500 нм - опция)
SER 850 DUV Z: спектральный диапазон 190-1700 нм (3500 нм - опция)

Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления как единичных слоев так и многослойных пленок в производстве или лаборатории.
- Исследования
- Нанатехнологии
- Фотовольтаика
- Микроэлекроника
- Органическая электроника
- Покрытия на стекле
- Дисплеи
- Биотехнологии
- Естественные науки

Особенности

• Широкий спектральный диапазон в зависимости от модели (190-3500 нм.)
• Высокая стабильность и точность при измерения
• Отсутствие подвижных оптических деталей (SSA - Step Scan Analyzer - пошаговое сканирование)
• Высокая скорость измерения образцов
• Измерение толщин пленок от 1 Å до 200 мкм. (ультра-тонкие пленки)
• Измерение оптических характеристик пленок
• Высокоточное выравнивание образца по углу наклона и высоте с помощью ACT (автокалиматческий телескоп)
• Измерения на прозрачных и поглощающих подложках
• Измерение при разных углах плечей эллипсометра (скатерометрия)
• Удобное программное обеспечение SpectraRay/4 
• Полный пакет предустановленных применений в микроэлектронике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др.
• Дружественный интерфейс.
• Высокая скорость измерений (менее 10 сек для полного спектра, более 500 длин волн)
• Мощный пакет программного обеспечения  SpectraRay/4 для спектроскопической эллипсометрии, позволяющий проводить измерение Ψ (psi),  Δ (delta) , tan(Ψ), cos(Δ), коэффициентов Фурье (S₁, S₂), коэффициенты отражения (R, Rp, R_s), коэффициенты отражения (T), оптические сфойства (n, k, n_e, n_o, k_e, k_o), свойство материалов, интенсивности рассеяния света как зависимость от длины волны, угла падения.  SpectraRay/4 обеспечивает получение данных, управление файлами, вывод в численном и/или графическом виде измеренных данных и спектров, анализ всех видов оптических спектральных функций, моделирование результатов и др. ПО включает в себя большую библиотеку оптических данных и готовых к использованию диэлектрических функций.

Описание SpectraRay/4 от производителя - SpectraRay/4.pdf

Опции:

• ч/б видеокамера и микроскоп для инспекции образца
• Моторизованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 150 мм, до 200 мм и до 300 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования). Опция меппинга (моторизованный столик для образцов с компъютерным управлением) и ПО позволяет анализировать однородность распределения толщины пленки на образце. Данные могут быть выведены как 2D- и 3D- изображение распределения толщины с полной статистикой.
• Рефлектометр FTPadv (диамерт пятна 80 мкм)
• Микроспот (фокусировка пятна: 200 или 100 мкм)
• Автоматический моризованный гониометр (пирамидаидальный)
• Столик с автматическим выравниваниванием образца и автофокус (AFT)
• Столики с нагревом
• Жидкостные ячейки
• Анизотропия
• Измерени на просвет
• Измерение 16-тизначной матрицы Мюллера
• Криостат 4 - 700 ºК