Спектроскопические эллипсометры SENTECH Instruments GmbH

SENpro - бюджетный спектроскопический УФ-ВИД (UV-VIS) эллипсометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик как однослойных пленок, так и многослойных пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.

Спектральный диапазон: 370 - 1050 нм.
SpectraRay/4 программный пакет

SENresearch 4.0 - серия новейших спектроскопических эллипсометров производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с диапазоном длин волн: DUV-VIS-NIR (ГУФ-ВИД-ИК) специально разработанных для исследований с возможностью проведения измерений толщин одно-  и многослойных пленок и пленочных структур под различными углами и для измерения оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей в УФ и видимого и ИК диапазонах длин волн. Измерение нанопленок.

Спектральный диапазон: от 190 до 3500 нм (в зависимости от модели)
ACT (автоколлиматический телескоп) для выравнивания образца
SpectraRay/4 программный пакет
Толщина пленок: от 1 Å до 200 мкм
Большое количество опций

SENDIRА - высокопроизводительная FT-IR (ИК-Фурье) эллипсометерическая cистема  производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) со спектральным диапазоном 400 см^-1 – 6000 см^-1 (1666–25000 нм.) и управляемым компьютером моторизованным гониометром для проведения измерений толщины и оптичеких показателей тонких пленок в ИК спектре.

Спектральный диапазон: от 1666 до 25000 нм
ИК-фурье спектрометр в качестве источника света. 
ACT (автоколлиматический телескоп) для выравнивания образца
SpectraRay/4 программный пакет
Большое количество опций

Высокопроизводительная автоматическая эллипсометрическая измерительная система SENDURO^® на базе УФ-ВИД спектроскопического эллипсометра с возможностью сканирования производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для проведения измерений толщины и оптических показателей тонких пленок в производстве.

Спектральный диапазон: от 290 до 1000 нм
Полностью автоматическое выравнивания образца нажатием одной кнопки
SpectraRay/4 программный пакет
Моторизованные столики для сканирования
Работа с пластинами до 200 мм.

SENDURO ® MEMS - новая полностью автоматизированная (с кассетной станцией) измерительная система для измерения толщин и оптических констант большого разнообразия тонких пленок и стеков, таких как оксиды, нитриды, a-Si, Si-мембраны, резисты, типичные в MEMS и производстве датчиков производства SENTECH Instruments GmbH (Германия).

Спектральный диапазон: от 300 до 1000 нм
Полностью автоматическое выравнивания образца нажатием одной кнопки
Загрузка из кассеты в кассету (С to C station)
Pattern recognition (опция)
Рефлектометр с пятном 100 мкм (опция) 
SpectraRay/4 программный пакет
Моторизованные столики для сканирования
Работа с пластинами до 200 мм.