+7 (495) 909-89-53

ИК-Фурье спектроскопический эллипсометр SENDIRA для измерения в ИК спектре

спектроскопический эллипсометр, измерение толщины пленок фото SENDIRA with Agilent FTIRH2 in SiP diffusion in SiPV glassSi diffusion

SENDIRА - высокопроизводительная FT-IR (ИК-Фурье) эллипсометерическая cистема  производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) со спектральным диапазоном 400 см-1 – 6000 см-1 (1666–25000 нм.) и управляемым компьютером моторизованным гониометром для проведения измерений толщины и оптичеких показателей тонких пленок в ИК спектре.

Спектральный диапазон: от 1666 до 25000 нм
ИК-фурье спектрометр в качестве источника света. 
ACT (автоколлиматический телескоп) для выравнивания образца
SpectraRay/4 программный пакет
Большое количество опций

Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления как единичных слоев так и многослойных пленок в производстве или лаборатории.

Данная модель является идеальной платформой для проведения эллипсометрических измерений в диапазоне MIR (средняя ИК-область) с возможностью измерения при разных углах падения луча (угловое разрешение 0,005º, шаг 0,01º) и позволяет использовать моторизованный столик (опция по дополнительному заказу) для  проведения измерений по всей поверхности образца в автоматическом режиме (сканирование – mapping).

Система имеет достаточно большой горизонтальный столик для образцов, позволяющий легко проводить измерения без установки образца в вертикальное положение.

Угол падения (моторизованный гониометр) и поляризатор управляются компьютером.

Система SENDIRА определяет эллипсометрический угол Дельта в полном диапазоне от 0º до 360º с высокой точностью.

Точная установка образца является важным фактором при проведении эллипсометрических измерений. SENDIRА оборудована Автоколлиматором (ACT) и оптическим микроскопом для выравнивания образцов по высоте и углу наклона.

Система SENDIRA позволяет проводить иссследования таких новых областях как измерение слоев органических проводников, OLEDs, полимерных пленок, SOI и др.

Особенности

  • Высокая стабильность и точность при измерении с источником света (FTIR спектромерт для всего измеряемого диапазона). 

  • Высокая точность выравнивания образца (регулировка по высоте и углу наклона) с помощью ACT (автоколлиматический телескоп).

  • Полностью интегрированная поддержка для многоугловых измерений с продвинутым программным обеспечением SpectraRay/4 от SENTECH. 

  • Полный пакет предустановленных применений в микроэлектронике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др.
  • Дружественный интерфейс.
  • Высокая скорость измерений (менее 10 сек для полного спектра, более 500 длин волн)
  • Мощный пакет программного обеспечения  SpectraRay/4 для спектроскопической эллипсометрии, позволяющий проводить измерение Ψ (psi),  Δ (delta) , tan(Ψ), cos(Δ), коэффициентов Фурье (S1, S2), коэффициенты отражения (R, Rp, Rs), коэффициенты отражения (T), оптические сфойства (n, k, ne, no, ke, ko), свойство материалов, интенсивности рассеяния света как зависимость от длины волны, угла падения.  SpectraRay/4 обеспечивает получение данных, управление файлами, вывод в численном и/или графическом виде измеренных данных и спектров, анализ всех видов оптических спектральных функций, моделирование результатов и др. ПО включает в себя большую библиотеку оптических данных и готовых к использованию диэлектрических функций.
  • Описание SpectraRay/4 от производителя - SpectraRay/4.pdf

  • Опции:

    - TE охлаждаемый DLaTGS детектор для использования ИК-фурье спектрометра как самостоятельного прибора

    - Моторизованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 200 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования)

    - Автоматическое выравнивание столика по высоте и углу наклона

    Описание SENDIRA в PDF

Характеристики

Длина волны  400 см-1 – 6000 см-1 (1666–25000 нм.)
Источник света ИК-Фурье спектрометр (FT-IR)
Гониометр моторизованный, угловое разрешение 0,005º, шаг 0,01º 
Выравнивание образца на столике Автокалиматиеский телескоп (ACT) или полностью автоматическая ситема выравнивания столика по углу наклона и высоте.
Размер пятна  В зависимости от угла падени света
Типичное 4х10 мм (при угле падения 700)
Тольщина измеряемых образцов до 10 мм (или другое по запросу)
Столик 150 мм в диаметре или 200 мм (по запросу). Стационарый или моторизованный
Диапазон измерений для прозрачных пленок:  до 200 мкм

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Запросить предложение товара

ИК-Фурье спектроскопический эллипсометр SENDIRA для измерения в ИК спектре

Также Вас может заинтересовать
Полностью автоматическая измерительная система SENDURO® MEMS для производства

SENDURO ® MEMS - новая полностью автоматизированная (с кассетной станцией) измерительная система для измерения толщин и оптических констант большого разнообразия тонких пленок и стеков, таких как оксиды, нитриды, a-Si, Si-мембраны, резисты, типичные в MEMS и производстве датчиков производства SENTECH Instruments GmbH (Германия).

Спектральный диапазон: от 300 до 1000 нм
Полностью автоматическое выравнивания образца нажатием одной кнопки
Загрузка из кассеты в кассету (С to C station)
Pattern recognition (опция)
Рефлектометр с пятном 100 мкм (опция) 
SpectraRay/4 программный пакет
Моторизованные столики для сканирования
Работа с пластинами до 200 мм.

SENDURO ® MEMS - новая полностью автоматизированная (с кассетной станцией) измерительная система для измерения толщин и оптических констант большого разнообразия тонких пленок и стеков, таких как оксиды, нитриды, a-Si, Si-мембраны, резисты, типичные в MEMS и производстве датчиков производства SENTECH Instruments GmbH (Германия).

Спектральный диапазон: от 300 до 1000 нм
Полностью автоматическое выравнивания образца нажатием одной кнопки
Загрузка из кассеты в кассету (С to C station)
Pattern recognition (опция)
Рефлектометр с пятном 100 мкм (опция) 
SpectraRay/4 программный пакет
Моторизованные столики для сканирования
Работа с пластинами до 200 мм.

Спектроскопические эллипсометры SENresearch 4.0 для исследований и производства

SENresearch 4.0 - серия новейших спектроскопических эллипсометров производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с диапазоном длин волн: DUV-VIS-NIR (ГУФ-ВИД-ИК) специально разработанных для исследований с возможностью проведения измерений толщин одно-  и многослойных пленок и пленочных структур под различными углами и для измерения оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей в УФ и видимого и ИК диапазонах длин волн. Измерение нанопленок.

Спектральный диапазон: от 190 до 3500 нм (в зависимости от модели)
ACT (автоколлиматический телескоп) для выравнивания образца
SpectraRay/4 программный пакет
Толщина пленок: от 1 Å до 200 мкм
Большое количество опций

SENresearch 4.0 - серия новейших спектроскопических эллипсометров производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с диапазоном длин волн: DUV-VIS-NIR (ГУФ-ВИД-ИК) специально разработанных для исследований с возможностью проведения измерений толщин одно-  и многослойных пленок и пленочных структур под различными углами и для измерения оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей в УФ и видимого и ИК диапазонах длин волн. Измерение нанопленок.

Спектральный диапазон: от 190 до 3500 нм (в зависимости от модели)
ACT (автоколлиматический телескоп) для выравнивания образца
SpectraRay/4 программный пакет
Толщина пленок: от 1 Å до 200 мкм
Большое количество опций

Уже установлено в России и СНГ: 19 шт
Спектроскопический эллипсометр SENpro (low budget)

SENpro - бюджетный спектроскопический УФ-ВИД (UV-VIS) эллипсометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик как однослойных пленок, так и многослойных пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.

Спектральный диапазон: 370 - 1050 нм.
SpectraRay/4 программный пакет

SENpro - бюджетный спектроскопический УФ-ВИД (UV-VIS) эллипсометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик как однослойных пленок, так и многослойных пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.

Спектральный диапазон: 370 - 1050 нм.
SpectraRay/4 программный пакет