SENDIRА - высокопроизводительная FT-IR (ИК-Фурье) эллипсометерическая cистема  производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) со спектральным диапазоном 400 см^-1 – 6000 см^-1 (1666–25000 нм.) и управляемым компьютером моторизованным гониометром для проведения измерений толщины и оптичеких показателей тонких пленок в ИК спектре.

Спектральный диапазон: от 1666 до 25000 нм
ИК-фурье спектрометр в качестве источника света. 
ACT (автоколлиматический телескоп) для выравнивания образца
SpectraRay/4 программный пакет
Большое количество опций

Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления как единичных слоев так и многослойных пленок в производстве или лаборатории.

Данная модель является идеальной платформой для проведения эллипсометрических измерений в диапазоне MIR (средняя ИК-область) с возможностью измерения при разных углах падения луча (угловое разрешение 0,005º, шаг 0,01º) и позволяет использовать моторизованный столик (опция по дополнительному заказу) для  проведения измерений по всей поверхности образца в автоматическом режиме (сканирование – mapping).

Система имеет достаточно большой горизонтальный столик для образцов, позволяющий легко проводить измерения без установки образца в вертикальное положение.

Угол падения (моторизованный гониометр) и поляризатор управляются компьютером.

Система SENDIRА определяет эллипсометрический угол Дельта в полном диапазоне от 0º до 360º с высокой точностью.

Точная установка образца является важным фактором при проведении эллипсометрических измерений. SENDIRА оборудована Автоколлиматором (ACT) и оптическим микроскопом для выравнивания образцов по высоте и углу наклона.

Система SENDIRA позволяет проводить иссследования таких новых областях как измерение слоев органических проводников, OLEDs, полимерных пленок, SOI и др.

Особенности

• Высокая стабильность и точность при измерении с источником света (FTIR спектромерт для всего измеряемого диапазона). 

• Высокая точность выравнивания образца (регулировка по высоте и углу наклона) с помощью ACT (автоколлиматический телескоп).

• Полностью интегрированная поддержка для многоугловых измерений с продвинутым программным обеспечением SpectraRay/4 от SENTECH. 

• Полный пакет предустановленных применений в микроэлектронике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др.
• Дружественный интерфейс.
• Высокая скорость измерений (менее 10 сек для полного спектра, более 500 длин волн)
• Мощный пакет программного обеспечения  SpectraRay/4 для спектроскопической эллипсометрии, позволяющий проводить измерение Ψ (psi),  Δ (delta) , tan(Ψ), cos(Δ), коэффициентов Фурье (S₁, S₂), коэффициенты отражения (R, Rp, R_s), коэффициенты отражения (T), оптические сфойства (n, k, n_e, n_o, k_e, k_o), свойство материалов, интенсивности рассеяния света как зависимость от длины волны, угла падения.  SpectraRay/4 обеспечивает получение данных, управление файлами, вывод в численном и/или графическом виде измеренных данных и спектров, анализ всех видов оптических спектральных функций, моделирование результатов и др. ПО включает в себя большую библиотеку оптических данных и готовых к использованию диэлектрических функций.

• Описание SpectraRay/4 от производителя - SpectraRay/4.pdf

• Опции:

  - TE охлаждаемый DLaTGS детектор для использования ИК-фурье спектрометра как самостоятельного прибора

  - Моторизованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 200 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования)

  - Автоматическое выравнивание столика по высоте и углу наклона

  Описание SENDIRA в PDF