+7 (495) 909-89-53

Лабораторная установка резистивного испарения Covap

вакуумно термическое напыление установки фото Covap-w-personCovap-3Covap_1covap_2angstromcovap2-1Covap 2 - glove box

Вакуумная установка Covap производства Angstrom Engineering Inc. (Канада) - компактное экономичное решение подходящее для множества применений вакуумного напыления для НИИОКР. 

Установки серии Covap предлагают компактное, экономичное решение подходящее для проведения процессов термического испарения и магнетронного распыления. Эта небольшого размера бюджетная установка позволит Вам легко найти место в Вашей лаборатории для ее установки.

Построенная по высоким стандартам, Covap конфигурируется устройством с обратной связью для управления процессами соосаждения, системой хранения рецептов и уникальной складной камерой для улучшенного доступа. Если Ваш процесс требует контроля окружающей среды, Covap сконструирована таким образом, что на нее можно установить новый или существующий перчаточный бокс.

Процессы:
резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation)

Особенности

  • Возможность обрабатывать на пластины диаметром до 100 мм с заданием различной скорости вращения держателя
  • Вакуумный колпак системы позволяет легко открывать камеру для беспрепятственного доступа для снятия экранов (заслонок) и подготовки системы для следующего процесса.

  • Конструкция готова к интегрированию в перчаточный бокс.

  • Компактный дизайн 600 мм х 1000 мм (габариты размещения на полу)

  • Возможность установки 2-ух или 4-х источников резистивного испарения

  • Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов.

  • Процесс последовательного или параллельного (co-deposition) напыления

  • Контроль вакуума и вакуумная система:

    - Автоматический форвакуумный насос

    - Сухие насосы (опция)

    - Высокий вакуум обеспечивается турбомолекулярным насосом

    - Пневматически воздушный фильтр

  • Управление процессом осаждения:

    - теневая маска и выравнивание подложки

    - легко и быстро устанавливаемые датчики для поддержки и контроля процесса

    - датчики скорости осаждения для контроля и управления процессом

    - конфигурация для реализации процесса соосаждения- co-deposition (параллельное осаждение нескольких материалов для получения сплава)

    - QCM - изолированный кварцевый датчик обеспечивает отсутствие интерференции при напылении от прилегающих источников

    - Широкополосный источник 2,5 кВА для резистивное испарения обеспечивает возможность контроля и управления как для процессов требующих низких температур при напылении (органически пленки) так и для процессов напыления металлов, проходящих при высоких температурах.

    - изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения от перекрестного напыления.

Скачать брошюру в PDF

Видеопрезентация компании Angstrom Engineering

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Запросить предложение товара

Лабораторная установка резистивного испарения Covap

Также Вас может заинтересовать
Установка магнетронного распыления линейного типа (Linear sputter system)

Вакуумные установки магнетронного распыления линейного типа Linear Sputter System производства Angstrom Engineering Inc. (Канада). Установки для серийного производства и напыления на пластины или шаблоны (Al, Ni, Cr, V, Ti, Cu и др.). Установки заменят выходящие из строя старые установки МАГНА-2М или Оратория 29 и т.п. 

Загрузка из кассеты в кассету
до 3-х прямоугольных магнетронов
Ионный источник для очистки
Нагрев 
кварцевый контроль (QCM)

Процессы:
магнетронное напыление (magnetron sputtering deposition)

Вакуумные установки магнетронного распыления линейного типа Linear Sputter System производства Angstrom Engineering Inc. (Канада). Установки для серийного производства и напыления на пластины или шаблоны (Al, Ni, Cr, V, Ti, Cu и др.). Установки заменят выходящие из строя старые установки МАГНА-2М или Оратория 29 и т.п. 

Загрузка из кассеты в кассету
до 3-х прямоугольных магнетронов
Ионный источник для очистки
Нагрев 
кварцевый контроль (QCM)

Процессы:
магнетронное напыление (magnetron sputtering deposition)

Установка напыления EvoVac

Вакуумная установка EvoVac производства Angstrom Engineering Inc. (Канада) -одна из самых больших из серии установок Angstrom Engineering и имеет наибольшие возможности по конфигурирования системы для задач заказчика. Может оснащаться перчаточным боксом и загрузочным шлюзом.

Может оснащаться перчаточным боксом.
Пластины диаметром до 300 мм или 3 х 100 мм, до 150х150 мм.

Процессы:
резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation) 
магнетронное напыление (magnetron sputtering deposition)
электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation)
ионное напыление (ion-assisted deposition)

Вакуумная установка EvoVac производства Angstrom Engineering Inc. (Канада) -одна из самых больших из серии установок Angstrom Engineering и имеет наибольшие возможности по конфигурирования системы для задач заказчика. Может оснащаться перчаточным боксом и загрузочным шлюзом.

Может оснащаться перчаточным боксом.
Пластины диаметром до 300 мм или 3 х 100 мм, до 150х150 мм.

Процессы:
резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation) 
магнетронное напыление (magnetron sputtering deposition)
электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation)
ионное напыление (ion-assisted deposition)

Уже установлено в России и СНГ: 9 шт
Установка напыления Box Coaters

Вакуумные установки Box Coaters для производства производства Angstrom Engineering Inc. (Канада) -самая большая из платформ установкок Angstrom Engineering и имеет наибольшие возможности по конфигурирования системы для задач заказчика. Установки предназначены для груповой обработки пластин в том числе большого диаметра.  

Может оснащаться перчаточным боксом.
Пластины диамером до 300 мм.

Процессы:
резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation) 
магнетронное напыление (magnetron sputtering deposition)
электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation)
ионное напыление (ion-assisted deposition)

Вакуумные установки Box Coaters для производства производства Angstrom Engineering Inc. (Канада) -самая большая из платформ установкок Angstrom Engineering и имеет наибольшие возможности по конфигурирования системы для задач заказчика. Установки предназначены для груповой обработки пластин в том числе большого диаметра.  

Может оснащаться перчаточным боксом.
Пластины диамером до 300 мм.

Процессы:
резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation) 
магнетронное напыление (magnetron sputtering deposition)
электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation)
ионное напыление (ion-assisted deposition)