Установки УФ отверждения пленки после дисковой резики пластин моделей U-200 / U-300 / U-450 производства POWATEC GmbH (Швейцария).
Установки УФ отверждения U-200/U-300/U-450 от POWATEC позволяет производить отверждение (UV-LED curing) пленки, на которую смонтирована полупроводниковая пластина после процесса дисковой резки. UV-LED источник генерирует УФ излучение с длиной волны 365 нм и мощностью до 750 мВт. Система имеет конвейерный тип. Пластина с рамкой двигается слева направо под источником ФУ излучения. Процесс отверждение происходит в течение 15-80 секунд. Производительность установок составляет от 45 до 240 пластин/рамок в час. Время засветки регулируется.
Параметры:
Тип - ручная установка
Ламинация пластин диаметром до 200 мм, до 300 мм и до 450 мм соотвественно
Применение:
Back-end процесс - разделения пластин на кристаллы
| Установка |
U-200 |
U-300 |
| Максимальный размер пластин или рамок | до Ø200 | до Ø300 мм |
| Ширина установки | 400 мм | 460 мм |
| Высота | 170 мм | 170 мм |
| Длина | 695 мм | 1000 мм |
| Вес | 18 кг. | 35 кг |
| Подключение | 220 В, 50 Гц. | 220 В, 50 Гц. |
| Потребление | 120 Вт | 180 Вт. |
| UV-LED источник | 365 нм +/- 3 nm 750 мВт |
365 нм +/- 3 nm 750 мВт |
Ручные установки монтажа на пленку перед дисковой резкой моделей P-200 и P-300 производства POWATEC GmbH (Швейцария).
Параметры:
Тип - ручная установка
Монтаж пластин диаметром до 200 мм и до 300 мм соотвественно
Мин. толщина пластин 30 мкм
Применение:
Back-end процесс - разделения пластин на кристаллы
Ручные установки монтажа на пленку перед дисковой резкой моделей P-200 и P-300 производства POWATEC GmbH (Швейцария).
Параметры:
Тип - ручная установка
Монтаж пластин диаметром до 200 мм и до 300 мм соотвественно
Мин. толщина пластин 30 мкм
Применение:
Back-end процесс - разделения пластин на кристаллы
Установки монтажа пластин на пленочный носитель STM-130 / STM-140 производства SR Co. Ltd. (Корея).
Параметры:
Тип - ручная установка
Монтаж пластин размером до 200 мм и до 300 мм соотвественно
Устройство натяжения пленки для защиты от повреждения пластины
Подогреваемый столик (80 oC) из алюминия с тефлоновым покрытием
Применение:
Back-end процесс - разделения пластин на кристаллы
Установки монтажа пластин на пленочный носитель STM-130 / STM-140 производства SR Co. Ltd. (Корея).
Параметры:
Тип - ручная установка
Монтаж пластин размером до 200 мм и до 300 мм соотвественно
Устройство натяжения пленки для защиты от повреждения пластины
Подогреваемый столик (80 oC) из алюминия с тефлоновым покрытием
Применение:
Back-end процесс - разделения пластин на кристаллы
Установки УФ засветки (отверждения) пленки SUV-150 / SUV-35SL производства SR Co. Ltd. (Корея).
Параметры:
SUV-150 - ручная установка
SUV-35SL - полуавтоматическая установка
УФ засветка рамок до 300 мм (12")
УФ лампы - стандартное исполнение или опционально (UV LED)
Источник: УФ лампа, ресурс 3000 часов
Адаптеры для разных размеров пластин
Применение:
Back-end процесс - разделения пластин на кристаллы
Установки УФ засветки (отверждения) пленки SUV-150 / SUV-35SL производства SR Co. Ltd. (Корея).
Параметры:
SUV-150 - ручная установка
SUV-35SL - полуавтоматическая установка
УФ засветка рамок до 300 мм (12")
УФ лампы - стандартное исполнение или опционально (UV LED)
Источник: УФ лампа, ресурс 3000 часов
Адаптеры для разных размеров пластин
Применение:
Back-end процесс - разделения пластин на кристаллы
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
