Profilm3D производства Filmetrics (США) - бюджетный 3D оптический профилометр, объединяющий 2 высокоточных интерферометрических метода: WLI (интерферометрия белого света) и PSI (интерферометрия фазового сдвига).
Применение:
Гладкие поверхности
Машиностроение
Материаловедение
Энергетика
Криминалистика
Контроль лазерной гравировки
Микроэлектроника
Микромеханика
Оптика
Полупроводники
Потребительская электроника
Фотовольтика
Дисплеи
Применяемые технологии:
Интерферометрия (Interfefometry: PSI, WLI)
Диапазон измеряемых толщин в режиме WLI (интерферометрия белого света) | 50 нм -10 мм |
Диапазон измеряемых толщин в режиме PSI (фазовый сдвиг) | 0-3 мкм |
Коэффициент отражения образцов |
0.05% - 100% |
Перемещение по Z | 100 мм |
Пьезо перемещение по Z | 500 мкм |
XY столик, диапазон перемещения |
автоматический с моторизацией, 100х100 мм или до 200х200 мм. |
Диапазон наклона столика с ручным управлением | +/- 5o |
Камера | 2592х1944 (5 Мегапиксель) |
Размеры | 300х300х550 мм |
Вес | 15 кг. |