+7 (495) 909-89-53

Установка совмещения и экспонирования MDA-400M с ручным управлением

Установка совмещения и экспонирования MDA-400M с ручным управлением фото Установка совмещения и экспонирования MDA-400M с ручным управлением фото

Установка MDA-400M производства MIDAS SYSTEM (Корея) с ручным управлением и PLC/PC контролем широко применяется для технологий изготовления MEMS, LED, полупроводников и др. MDA-400M - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР, университетах, научных центрах и для малых объемов производства

Точность совмещения 1 мкм. 
Обработка пластин до 100 мм (4 дюймов)
Максимальный размер фотошаблона 127х127 мм (5х5 дюймов)
Ручное совмещение и автоматическое экспонирование.

Особенности

  • Прецизионная точность совмещения 1 мкм
  • Многофункциональный держатель для кусочков и пластин до 6’’ (150мм)
  • Специальные держатели подложек (кусочков по запросу)
  • Прецизионный столик для совмещения и микроскоп
  • Возможность задания различной интенсивности УФ излучения для экспонирования
  • Система для компенсации «клина засветки» на воздушных подшипниках
  • Эргономичный дизайн для удобного использования
  • Антивибрационный стол (опция)
  • Низкая стоимость/высокое качество
  • Обратное совмещение - IR BSA (опция)
  • Управлене ручное
Запросить брошюру в PDF

Характеристики

Мощность лампы УФ источник света с мощностью 350 Вт с контролем интенсивности и мощности излучения.
Размер подложки кусочки, пластины до 4 дюймов, размер подложек 4х4 дюйма
Точность 1 микрон
Разрешение 1 микрон, при использовании тонкого фоторезиста на Si пластине с вакуумным контактом  (возможно 0,8 мкм с вакуумным контактом)
Размер маски до 5 х 5 дюймов
УФ лампа 350 Вт.
Диапазон длин волн засветки 350-450 нм, или другие по запросу.
Размер однородного пучка 4,25" х 4,25"
Оптическое зрение (микроскоп) Микроскоп двойного поля (80x - 480x увеличение, или 80-1000х по запросу)CCD камера
Однородность пучка < +/- 3%
Интенсивность излучения при длине волны 365 нм Максимальная 25 мВт/см2
Режим управления с ПК (PLC контроль)
Регулируемое время экспонирования 0,1 to 999,сек с шагом 100 мс.
Совмещение подложек Модуль совмещения с возможностью перемещения по осям х,у,z (по z ± 10 мм или другой по запросу) и по углу θ (± 5°)
Выравнивание Компенсация ошибки клина
Методы экспонирования Мягкий контактжесткий контакт, вакуумный контакт (контактное усилие регулируется), экспонирование с микрозазором (регулируемое 1 мкм)
Стол Антивибрационный стол
Опции ИК опция обратного совмещения (IR BSA), Датчик интенсивности УФ излучения, модуль UV-LED излучения (365 нм), модуль засветки для УФ и глубокого УФ

Видеопрезентация установки MDA-400M


Общая схема установки MDA-400M



Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru  

Запросить предложение товара

Установка совмещения и экспонирования MDA-400M с ручным управлением

Также Вас может заинтересовать
Полуавтоматическая установка совмещения и экспонирования MDA-60MS/80MS

Полуавтоматическая установка MDA-60MS/80MS производства MIDAS SYSTEM (Корея) прекрасный инструмент для использования в таких применениях как MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства, LED и других технологиях требующих высокой точности совмещения. Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.

  • По запросу опция обратного совмещения с CCD камерой.  
  • Обработка пластин до 150мм/200 мм.
  • Перемещение столика полуавтоматическое при совмещении и фокусировке, автоматическое экспонирование.

Полуавтоматическая установка MDA-60MS/80MS производства MIDAS SYSTEM (Корея) прекрасный инструмент для использования в таких применениях как MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства, LED и других технологиях требующих высокой точности совмещения. Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.

  • По запросу опция обратного совмещения с CCD камерой.  
  • Обработка пластин до 150мм/200 мм.
  • Перемещение столика полуавтоматическое при совмещении и фокусировке, автоматическое экспонирование.

Уже установлено в России и СНГ: 2 шт
Полностью автоматические установки совмещения и экспонирования MDA-40FA / MDA-80FA / MDA-12FA

Установки MDA-40FA / MDA-80FA / MDA-12FA производства MIDAS SYSTEM (Корея) - новые модели представляющуе новое поколение полностью автоматических систем литографии.

Новая платформа автоматической модели предлагает более высокие точности и более легкое управление. Идеальное решение для производства LED и других технологиях (MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства) требующих высокой точности совмещения.

Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.
По запросу опция обратного совмещения с CCD камерой.   
Обработка пластин до 50, 100 мм / 150, 200мм. / 200, 300 мм.
Полностью автоматическое совмещение, автоматическое экспонирование

Установки MDA-40FA / MDA-80FA / MDA-12FA производства MIDAS SYSTEM (Корея) - новые модели представляющуе новое поколение полностью автоматических систем литографии.

Новая платформа автоматической модели предлагает более высокие точности и более легкое управление. Идеальное решение для производства LED и других технологиях (MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства) требующих высокой точности совмещения.

Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость.
По запросу опция обратного совмещения с CCD камерой.   
Обработка пластин до 50, 100 мм / 150, 200мм. / 200, 300 мм.
Полностью автоматическое совмещение, автоматическое экспонирование

Установка совмещения и экспонирования MDA-400M-6 с ручным управлением и PC/PLC контролем

Установка MDA-400M-6 производства MIDAS SYSTEM (Корея) с ручным управлением и PLC/PC контролем широко применяется для технологий изготовления MEMS, LED, полупроводников и др. MDA-400M-6 - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР, университетах, научных центрах и для малых объемов производства

  • Точность совмещения 1 мкм. 
  • Обработка пластин до 150 мм (6 дюймов).
  • Максимальный размер фотошаблона 178х178 мм (7х7 дюймов)
  • Ручное совмещение и автоматическое экспонирование
  • PC и PLC контроль

Установка MDA-400M-6 производства MIDAS SYSTEM (Корея) с ручным управлением и PLC/PC контролем широко применяется для технологий изготовления MEMS, LED, полупроводников и др. MDA-400M-6 - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР, университетах, научных центрах и для малых объемов производства

  • Точность совмещения 1 мкм. 
  • Обработка пластин до 150 мм (6 дюймов).
  • Максимальный размер фотошаблона 178х178 мм (7х7 дюймов)
  • Ручное совмещение и автоматическое экспонирование
  • PC и PLC контроль

Уже установлено в России и СНГ: 24 шт