Центрифуга SPIN-4000A производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с автоматическим дозированием фоторезиста или проявителя и программатором (touch screen дисплей) для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 300 мм
| Размер подложки | от 5х5 мм до 300 мм |
| Скорость вращения | от 300 до 5000 об/мин +/-3% для не загруженного держателя |
| Ускорение | Ускорение и скорость задается оператором |
| Управление | Программатор, 20 рецептов, 20 шагов |
| Автодиспенсер | до трех линий автомтической подачи реагентов (резиста, проявителя, DI) |
| Мотор | AC сервомотор |
| Корпус | Нержавеющая сталь |
| Вакуумный прижим | Анодированный алюминий |
| Электропитание | 220 В, 5А, 50 Гц. |
| Размеры | 650 х 945 х 1200 мм. |
| Слив | сливные отверстия в чаше |
Настольная лабораторная центрифуга SPIN-3000D производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и программатором для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 150 мм
Настольная лабораторная центрифуга SPIN-3000D производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и программатором для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 150 мм
Продвинутая установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC4000L производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 400х400 мм.
Перемещение по XY: 400 x 400 мм
Размеры установки: 1040 мм x 750 мм x 950 мм (ГxШxВ)
Продвинутая установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC4000L производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 400х400 мм.
Перемещение по XY: 400 x 400 мм
Размеры установки: 1040 мм x 750 мм x 950 мм (ГxШxВ)
Настольная лабораторная центрифуга SPIN-1200T производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и цветным touch screen дисплеем для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 100 мм (до 150 мм - опция)
Настольная лабораторная центрифуга SPIN-1200T производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и цветным touch screen дисплеем для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 100 мм (до 150 мм - опция)
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
