Универсальные горизонтальные диффузионные печи для LPCVD процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия).
Конструкция печей компании SVCS для процессов осаждения при пониженном давлении LPCVD сочетает в себе различные варианты построения оборудования. В зависимости от нужд заказчика, это могут быть как системы максимальной производительности (SVсFUR-FP), так и системы, обеспечивающие высокую гибкость технологических процессов при малых объемах производства, для использования в научных исследованиях и опытно-промышленном производстве (SVсFUR-RD). Серия SVсFUR представляет собой простые в обслуживании, безопасные и надежные технологические платформы.
Процессы:
- Нитрид кремния
- Низкотемпературный оксид (LTO)
- Высокотемпературный оксид (HTO)
- ТЭОС
- Поликремний
- Легированный поликремний
- Оксинитрид
Размер пластин | 50мм, 75мм, 100мм, 150мм, 200мм, 300мм или любой другой |
Размер партии |
SVaFUR-FP: 100 и более пластин и SVaFUR-RD: 25 пластин (обычно) |
Система нагрева |
3 или 5 зонная SVaFUR-FP:до 1067мм (42") и SVaFUR-RD: до 300мм (12") |
Температура процессов | 200°C до 1200°C |
Энергопотребление |
80кВт – 150кВт в зависимости от конфигурации труб, |
Сухой чистый воздух | 70 – 110 psig (4,8 to 7,6 bar) |
Водя для охлаждения |
40 - 60 LPM, Выхлоп 210m³/h на трубу |
Опции |
лифт для лодочек и автоматическая загрузка подающей лопатки |
Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru
Универсальные лабораторные диффузионные печи для атмосферных процессов, PECVD и LPCVD для групповой обработки пластин в мелкосерийном производстве и НИОКР производства от ATV Technologie GmbH (Германия).
Применение:
Обработка в атмосфере (диффузия, окисление, отжиг, PECVD, LPCVD)
Температурный диапазон: от RT до 1150°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная (групповая)
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от модели печи.
Загрузка от 5 до 60 пластин
Вакуум: опция
Универсальные лабораторные диффузионные печи для атмосферных процессов, PECVD и LPCVD для групповой обработки пластин в мелкосерийном производстве и НИОКР производства от ATV Technologie GmbH (Германия).
Применение:
Обработка в атмосфере (диффузия, окисление, отжиг, PECVD, LPCVD)
Температурный диапазон: от RT до 1150°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная (групповая)
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от модели печи.
Загрузка от 5 до 60 пластин
Вакуум: опция
Универсальные горизонтальные диффузионные печи для PECVD процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия).
Применение:
PECVD осаждение:
Температурный диапазон: от 200 до 800°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная или автоматическая
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25 до 300 пластин (на процесс - трубу)
До 4 труб на печь
Универсальные горизонтальные диффузионные печи для PECVD процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия).
Применение:
PECVD осаждение:
Температурный диапазон: от 200 до 800°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная или автоматическая
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25 до 300 пластин (на процесс - трубу)
До 4 труб на печь
Настольные лаборатрные горизонтальные диффузионные печи производстве от SVCS (Чехия).
Применение:
Процессы:
Температурный диапазон: от 200 до 1300°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная
Диаметр пластин до 150 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25
Настольные лаборатрные горизонтальные диффузионные печи производстве от SVCS (Чехия).
Применение:
Процессы:
Температурный диапазон: от 200 до 1300°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная
Диаметр пластин до 150 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25