Универсальные горизонтальные диффузионные печи для PECVD процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия).
Конструкция установок SVCS для плазмоактивированного осаждения при пониженном давлении сочетает возможность проведения различных процессов с обеспечением высокой производительности для серийного производства (SVpFUR-FP) и высокую гибкость компактных моделей для использования в исследовательских работах и опытном производстве (SVpFUR-RD). Результатом является безопасная, простая в обслуживании и надежная горизонтальная PECVD платформа.
Конструкция установок SVCS обеспечивает высокую эффективность, малое занимаемое пространство и низкую эксплуатационную стоимость при высокой гибкости технологических процессов.
Процессы:
Размер пластин | 150 мм, 200 мм или другие по запросу |
Размер партии | FP: до 120 шт. RD: 25 шт. (стандартно) |
Система нагрева | 3 или 5 зон |
Рабочая зона | FP: до 1067 мм (42″) RD: от 300 мм (12″) Равномерность нагрева: ± 0.5°C по зоне |
Рабочая температура | от 200°C до 800°C |
Потребляемая мощность | 80 кВт – 150 кВт в зависимости от конфигурации |
Источник питания | 150 мм: 3 фазы, 400 или 480 VAC, 140 A, 50 или 60 Гц 200 мм: 3 фазы, 400 или 480VAC, 160A, 60 Гц (система адаптирована к сети питания заказчика) |
Сухой сжатый воздух | 70 – 110 psig (от 4,8 до 7,6 бар) |
Оборотная вода | 40 — 60 л/мин |
Вытяжная вентиляция | 210 м³/ч на канал |
Опции | Подъемник лодочек и автоматический переукладчик пластин |
Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru
Настольные лаборатрные горизонтальные диффузионные печи производстве от SVCS (Чехия).
Применение:
Процессы:
Температурный диапазон: от 200 до 1300°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная
Диаметр пластин до 150 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25
Настольные лаборатрные горизонтальные диффузионные печи производстве от SVCS (Чехия).
Применение:
Процессы:
Температурный диапазон: от 200 до 1300°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная
Диаметр пластин до 150 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25
Универсальные горизонтальные диффузионные печи для атмосферных процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия).
Применение:
Обработка в атмосфере (диффузия, окисление, отжиг и др.)
Температурный диапазон: от RT до 1300°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная или автоматическая
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25 до 300 пластин (на процесс - трубу)
До 4 труб на печь
Универсальные горизонтальные диффузионные печи для атмосферных процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия).
Применение:
Обработка в атмосфере (диффузия, окисление, отжиг и др.)
Температурный диапазон: от RT до 1300°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная или автоматическая
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от требований.
Загрузка от 25 до 300 пластин (на процесс - трубу)
До 4 труб на печь
Универсальные лабораторные диффузионные печи для атмосферных процессов, PECVD и LPCVD для групповой обработки пластин в мелкосерийном производстве и НИОКР производства от ATV Technologie GmbH (Германия).
Применение:
Обработка в атмосфере (диффузия, окисление, отжиг, PECVD, LPCVD)
Температурный диапазон: от RT до 1150°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная (групповая)
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от модели печи.
Загрузка от 5 до 60 пластин
Вакуум: опция
Универсальные лабораторные диффузионные печи для атмосферных процессов, PECVD и LPCVD для групповой обработки пластин в мелкосерийном производстве и НИОКР производства от ATV Technologie GmbH (Германия).
Применение:
Обработка в атмосфере (диффузия, окисление, отжиг, PECVD, LPCVD)
Температурный диапазон: от RT до 1150°C (в зависимости от версии печи)
Загрузка: ручная (групповая)
Диаметр пластин до 300 мм в зависимости от модели печи.
Загрузка от 5 до 60 пластин
Вакуум: опция