Горизонтальные диффузионные печи SVCS для PECVD процессов

Универсальные горизонтальные диффузионные печи для PECVD процессов для групповой обработки пластин в крупносерийном, так и в мелкосерийном производстве от SVCS (Чехия).  

Конструкция установок SVCS для плазмоактивированного осаждения при пониженном давлении сочетает возможность проведения различных процессов с обеспечением высокой производительности для серийного производства (SVpFUR-FP) и высокую гибкость компактных моделей для использования в исследовательских работах и опытном производстве (SVpFUR-RD). Результатом является безопасная, простая в обслуживании и надежная горизонтальная PECVD платформа.

Конструкция установок SVCS обеспечивает высокую эффективность, малое занимаемое пространство и низкую эксплуатационную стоимость при высокой гибкости технологических процессов.

Процессы: 

• Нитрид кремния (включая антиотражающие покрытия для солнечных элементов)
• Оксид кремния
• Оксинитрид кремния

Особенности

• Современная модульная специализированная система управления собственного производства
• Использование высококачественных компонентов обеспечивает длительную и бесперебойную работу технологического оборудования
• До четырех горизонтальных кварцевых реакторов для различных процессов
• Различные методы контроля уровня вакуума, с нагревом или без нагрева:
• Дисковый вентиль (TBV)
• Балластный азот
• Частотное управление вакуумным насосом
• Интеграция вакуумной откачной системы в сотрудничестве с ведущими производителями вакуумных насосов
• Продвинутая система водяного охлаждения для минимизации теплового воздействия между соседними реакторами
• Интеграция ВЧ генераторов в сотрудничестве с мировыми производителями (по запросу)
• Фланцы с водяным охлаждением собственной разработки
• ВЧ генераторы собственной разработки и производства
• Графитовые лодочки собственной разработки
• Полностью автоматическая бесконтактная система загрузки консольного типа
• Удобная в обслуживании конструкция