Специальные установки плазменной очистки низкого давления модели производства Diener electronic (Германия).
Diener electronic изготавливает плазменные установки с учетом ваших индивидуальных потребностей. Установки разрабатываются с учетом следующих критериев:
- ожидаемое количество проходящего материала
- величина обрабатываемых деталей
Примеры применения по отраслям...
Плазменная установка типа «с рулона на рулон» Tetra-2-PC разработана для нанесения покрытий на волокна, нитки и проволоку и оснащена устройством типа «с рулона на рулон».
Специальная плазменная установка Tetra-2-PC, с рулона на рулон.
Технические данные:
Корпус: Ш 3491 мм, В 1000 мм, Г 1278 мм
Камера: Д 1050 мм, ∅ 90 мм
Объем камеры: прибл. 2 литра
Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Автоматизация: с рулона на рулон
Плазменная установка Tetra-15 разработана для ионного распыления (технология нанесения покрытий в высоком вакууме), а также для метода очистки с целью подготовки сверхчистых поверхностей.
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 1700 мм, Г 800 мм
Камера: Ш 360 мм, В 150 мм, Г 260 мм
Объем камеры: прибл. 15 литров
Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-120 с объемом камеры 120 литров, компьютерным управлением и полностью автоматической дверью используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2150 мм, Г 1000 мм
Камера: Ш 1200 мм, В 150 мм, Г 1700 мм
Объем камеры: прибл. 120 литров
Подвод газа: 4 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Автоматизация: Установка имеет автоматическую дверь
Производственная установка Tetra-130 с объемом камеры 130 литров и компьютерным управлением используется для очистки медицинских компонентов и нанесения покрытий на них.
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 1800 мм, В 2100 мм, Г 1300 мм
Камера: Ш 400 мм, В 400 мм, Г 810 мм
Объем камеры: прибл. 130 литров
Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР) (из них 1х через барботер) 1 газовый канал мономер через 2/2-ходовой клапан
Генератор: 1 штука (13,56 МГц) (в виде опции: 40 кГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Свойства: Диапазон сверхвысокого вакуума с турбонасосом
Производственная установка Tetra 140 с объемом камеры 140 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление, активация и плазменная полимеризация).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2100 мм, Г 650 мм
Камера: Ш 1200 мм, В 700 мм, Г 1500 мм
Объем камеры: прибл. 140 литров
Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 1 штука (40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-185 с объемом камеры 185 литров и компьютерным управлением используется преимущественно при изготовлении печатных плат.
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2100 мм, Г 1000 мм
Камера: Ш 400 мм, В 665 мм, Г 700 мм
Объем камеры: прибл. 185 литров
Подвод газа: 4 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 1 штука (40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Свойства:
Обезжиривание разл. материалов (очистка стенок просверленных отверстий)
Очистка поверхности
Активация металлических поверхностей
7 выдвижных элементов для 7 одновременно обрабатываемых плат
Заготовки до 460 x 610 мм
Производственная установка Tetra-185 с объемом камеры 185 литров и компьютерным управлением используется преимущественно при изготовлении печатных плат.
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2100 мм, Г 1000 мм
Камера: Ш 400 мм, В 665 мм, Г 700 мм
Объем камеры: прибл. 185 литров
Подвод газа: 4 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 1 штука (80 кГц)
Управление: полное компьютерное управление
Свойства:
Обезжиривание разл. материалов (очистка стенок просверленных отверстий)
Очистка поверхности
Активация металлических поверхностей
7 выдвижных элементов для 7 одновременно обрабатываемых плат размерами макс. 460 x 610 мм или 14 печатных плат размерами макс. 230 x 305 мм
Производственная установка Tetra-210 с объемом камеры 210 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка и нанесение покрытий).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 1560 мм, В 2350 мм, Г 1860 мм
Камера: Ш 1000 мм, В 200 мм, Г 1400 мм
Объем камеры: прибл. 210 литров
Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 1 штука импульсный генератор 1 штука (40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-240 с объемом камеры 240 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 1700 мм, Г 3200 мм
Камера: Ш 305 мм, В 300 мм, Г 2600 мм
Объем камеры: прибл. 240 литров
Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 1 штука (40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-260 с объемом камеры 260 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 2500 мм, В 2200 мм, Г 1000 мм
Камера: Ш 650 мм, В 500 мм, Г 800 мм
Объем камеры: прибл. 260 литров
Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 10 штук (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-375 с объемом камеры 375 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2100 мм, Г 800 мм
Камера: Ш 600 мм, В 360 мм, Г 1900 мм
Объем камеры: прибл. 375 литров
Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-400 с объемом камеры 400 литров, компьютерным управлением и полностью автоматической сдвижной дверью используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2100 мм, Г 650 мм
Камера: Ш 915 мм, В 750 мм, Г 725 мм
Объем камеры: прибл. 400 литров
Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Автоматизация: Установка имеет автоматическую сдвижную дверь
Производственная установка Tetra-420 с объемом камеры 420 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация). Данная установка используется, в частности, для обезжиривания печатных плат.
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 1600 мм, В 2100 мм, Г 1200 мм
Камера: Ш 750 мм, В 800 мм, Г 750 мм
Объем камеры: прибл. 420 литров
Подвод газа: 4 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 4 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Специальная установка типа «с рулона на рулон» Tetra-500 с объемом камеры 500 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация, например, пленок).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2100 мм, Г 800 мм
Камера: Ш 1500 мм, В 1700 мм, Г 200 мм
Объем камеры: прибл. 500 литров
Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Держатель образца: 2 системы типа «с рулона на рулон»
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Специальная установка Tetra-575 с объемом камеры 575 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление, активация и нанесение покрытий).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 1150 мм, В 1900 мм, Г 1600 мм
Камера: Ш 600 мм, В 1200 мм, Г 800 мм
Объем камеры: прибл. 575 литров
Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 1 штука (40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Держатель образца: 22 яруса / поддона для обрабатываемых деталей (варьируется)
Управление: компьютерное управление (Windows)
Производственная установка Tetra-600 с объемом камеры 600 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).
Версия 1
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2200 мм, Г 800 мм
Камера: Ш 1000 мм, В 1000 мм, Г 600 мм
Объем камеры: прибл. 600 литров
Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Автоматизация: 11 ярусов / поддонов для обрабатываемых деталей
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-600 с объемом камеры 600 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).
Версия 2
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 1800 мм, В 1800 мм, Г 800 мм
Камера: Ш 580 мм, В 730 мм, Г 1000 мм Дверь с 2 смотровыми стеклами
Объем камеры: прибл. 600 литров
Подвод газа:2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 1 штука, автоматическое согласование
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-600 с объемом камеры 600 литров, компьютерным управлением и вращающимся барабаном используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2200 мм, Г 800 мм
Камера: ∅ 1100 мм, Г 700 мм
Объем камеры: прибл. 600 литров
Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Держатель образца: Вращающийся барабан (с 4 корзинами объемом по 30 литров)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-810 с объемом камеры 810 литров и компьютерным управлением используется для активации карбоновых волокон / композитов.
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 1200 мм, В 2200 мм, Г 2000 мм
Камера: Ш 900 мм, В 1100 мм, Г 900 мм
Объем камеры: прибл. 810 литров
Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 1 штука (80 кГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-850 с объемом камеры 850 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, активация).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 1500 мм, В 2000 мм, Г 800 мм
Камера: Ш 1300 мм, В 1800 мм, Г 400
Объем камеры: прибл. 850 литров
Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 1 штука (40 кГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-1200 с объемом камеры 1200 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, активация).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 1000 мм, В 1000 мм, Г 1800 мм
Камера: Ш 600 мм, В 1000 мм, Г 2000 мм
Объем камеры: прибл. 1200 литров
Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 3 штуки (по 40 кГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-2800 с объемом камеры 2800 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 1700 мм, Г 800 мм
Камера: ∅ 1200 мм, Г 2500 мм
Объем камеры: прибл. 2800 литров
Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 1 штука (40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Установка плазменной очистки низкого давления модели CIONE 4 производства FEMTO SCIENCE (Ю. Корея) с двумя режимами плазменной обработки - RIE & PE
Применение: Исследовательские работы, очистка, активация, прецизионное травление тонких слоев (мелкосерийные процессы), травление 2D материаллов
Process Mode: Mode: PE (Plasma Etching) & RIE (Reactive Ion Etching) Mode with dual electrode
Камера: прямоугольная (алюминий), ШхГхВ: 140 x 200 x 110 (мм)
Вакуумный насос, ~ 5 x 10-4 Torr
Ганератор: 20-100 кГц (шаг 10 кГц), мощность до 100 Вт.
Управление: ручное или автоматическое (PLC)
Газовые линии - до 3 шт (MFC)
Установка плазменной очистки низкого давления модели CIONE 4 производства FEMTO SCIENCE (Ю. Корея) с двумя режимами плазменной обработки - RIE & PE
Применение: Исследовательские работы, очистка, активация, прецизионное травление тонких слоев (мелкосерийные процессы), травление 2D материаллов
Process Mode: Mode: PE (Plasma Etching) & RIE (Reactive Ion Etching) Mode with dual electrode
Камера: прямоугольная (алюминий), ШхГхВ: 140 x 200 x 110 (мм)
Вакуумный насос, ~ 5 x 10-4 Torr
Ганератор: 20-100 кГц (шаг 10 кГц), мощность до 100 Вт.
Управление: ручное или автоматическое (PLC)
Газовые линии - до 3 шт (MFC)
Установка плазменной очистки низкого давления модели Zepto производства Diener electronic (Германия).
Применение: Исследовательские работы, очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы)
Камера: цилиндрическая, от 1,7 до 2,6 литра
Вакуумный насос
Ганератор: 100 кГц, до 30 Вт, 40кГц, до 100 Вт, 13,56 МГц, до 30 Вт., 13,56 МГц, до 200 Вт
Управление: ручное или автоматическое (PLC или PC)
Газовые линии - до 2 шт (игольчатые глапана или MFC)
Установка плазменной очистки низкого давления модели Zepto производства Diener electronic (Германия).
Применение: Исследовательские работы, очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы)
Камера: цилиндрическая, от 1,7 до 2,6 литра
Вакуумный насос
Ганератор: 100 кГц, до 30 Вт, 40кГц, до 100 Вт, 13,56 МГц, до 30 Вт., 13,56 МГц, до 200 Вт
Управление: ручное или автоматическое (PLC или PC)
Газовые линии - до 2 шт (игольчатые глапана или MFC)
Установка плазменной очистки низкого давления модели ATTO производства Diener electronic (Германия).
Применение: Исследовательские работы, очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы)
Камера: цилиндрическая, около 10,5 литра
Вакуумный насос, 3 или 5 м3/час
Ганератор 40 кГц, до 200 Вт или 13,56 МГц, до 200 Вт.
Управление: ручное или автоматическое (PLC или PC)
Газовые линии - до 2 шт (игольчатые глапана или MFC)
Установка плазменной очистки низкого давления модели ATTO производства Diener electronic (Германия).
Применение: Исследовательские работы, очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы)
Камера: цилиндрическая, около 10,5 литра
Вакуумный насос, 3 или 5 м3/час
Ганератор 40 кГц, до 200 Вт или 13,56 МГц, до 200 Вт.
Управление: ручное или автоматическое (PLC или PC)
Газовые линии - до 2 шт (игольчатые глапана или MFC)
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
