Специальные установки плазменной очистки низкого давления модели производства Diener electronic (Германия).
Diener electronic изготавливает плазменные установки с учетом ваших индивидуальных потребностей. Установки разрабатываются с учетом следующих критериев:
- ожидаемое количество проходящего материала
- величина обрабатываемых деталей
Примеры применения по отраслям...
Плазменная установка типа «с рулона на рулон» Tetra-2-PC разработана для нанесения покрытий на волокна, нитки и проволоку и оснащена устройством типа «с рулона на рулон».
Специальная плазменная установка Tetra-2-PC, с рулона на рулон.
Технические данные:
Корпус: Ш 3491 мм, В 1000 мм, Г 1278 мм
Камера: Д 1050 мм, ∅ 90 мм
Объем камеры: прибл. 2 литра
Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Автоматизация: с рулона на рулон
Плазменная установка Tetra-15 разработана для ионного распыления (технология нанесения покрытий в высоком вакууме), а также для метода очистки с целью подготовки сверхчистых поверхностей.
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 1700 мм, Г 800 мм
Камера: Ш 360 мм, В 150 мм, Г 260 мм
Объем камеры: прибл. 15 литров
Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-120 с объемом камеры 120 литров, компьютерным управлением и полностью автоматической дверью используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2150 мм, Г 1000 мм
Камера: Ш 1200 мм, В 150 мм, Г 1700 мм
Объем камеры: прибл. 120 литров
Подвод газа: 4 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Автоматизация: Установка имеет автоматическую дверь
Производственная установка Tetra-130 с объемом камеры 130 литров и компьютерным управлением используется для очистки медицинских компонентов и нанесения покрытий на них.
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 1800 мм, В 2100 мм, Г 1300 мм
Камера: Ш 400 мм, В 400 мм, Г 810 мм
Объем камеры: прибл. 130 литров
Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР) (из них 1х через барботер) 1 газовый канал мономер через 2/2-ходовой клапан
Генератор: 1 штука (13,56 МГц) (в виде опции: 40 кГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Свойства: Диапазон сверхвысокого вакуума с турбонасосом
Производственная установка Tetra 140 с объемом камеры 140 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление, активация и плазменная полимеризация).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2100 мм, Г 650 мм
Камера: Ш 1200 мм, В 700 мм, Г 1500 мм
Объем камеры: прибл. 140 литров
Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 1 штука (40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-185 с объемом камеры 185 литров и компьютерным управлением используется преимущественно при изготовлении печатных плат.
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2100 мм, Г 1000 мм
Камера: Ш 400 мм, В 665 мм, Г 700 мм
Объем камеры: прибл. 185 литров
Подвод газа: 4 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 1 штука (40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Свойства:
Обезжиривание разл. материалов (очистка стенок просверленных отверстий)
Очистка поверхности
Активация металлических поверхностей
7 выдвижных элементов для 7 одновременно обрабатываемых плат
Заготовки до 460 x 610 мм
Производственная установка Tetra-185 с объемом камеры 185 литров и компьютерным управлением используется преимущественно при изготовлении печатных плат.
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2100 мм, Г 1000 мм
Камера: Ш 400 мм, В 665 мм, Г 700 мм
Объем камеры: прибл. 185 литров
Подвод газа: 4 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 1 штука (80 кГц)
Управление: полное компьютерное управление
Свойства:
Обезжиривание разл. материалов (очистка стенок просверленных отверстий)
Очистка поверхности
Активация металлических поверхностей
7 выдвижных элементов для 7 одновременно обрабатываемых плат размерами макс. 460 x 610 мм или 14 печатных плат размерами макс. 230 x 305 мм
Производственная установка Tetra-210 с объемом камеры 210 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка и нанесение покрытий).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 1560 мм, В 2350 мм, Г 1860 мм
Камера: Ш 1000 мм, В 200 мм, Г 1400 мм
Объем камеры: прибл. 210 литров
Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 1 штука импульсный генератор 1 штука (40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-240 с объемом камеры 240 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 1700 мм, Г 3200 мм
Камера: Ш 305 мм, В 300 мм, Г 2600 мм
Объем камеры: прибл. 240 литров
Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 1 штука (40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-260 с объемом камеры 260 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 2500 мм, В 2200 мм, Г 1000 мм
Камера: Ш 650 мм, В 500 мм, Г 800 мм
Объем камеры: прибл. 260 литров
Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 10 штук (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-375 с объемом камеры 375 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2100 мм, Г 800 мм
Камера: Ш 600 мм, В 360 мм, Г 1900 мм
Объем камеры: прибл. 375 литров
Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-400 с объемом камеры 400 литров, компьютерным управлением и полностью автоматической сдвижной дверью используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2100 мм, Г 650 мм
Камера: Ш 915 мм, В 750 мм, Г 725 мм
Объем камеры: прибл. 400 литров
Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Автоматизация: Установка имеет автоматическую сдвижную дверь
Производственная установка Tetra-420 с объемом камеры 420 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация). Данная установка используется, в частности, для обезжиривания печатных плат.
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 1600 мм, В 2100 мм, Г 1200 мм
Камера: Ш 750 мм, В 800 мм, Г 750 мм
Объем камеры: прибл. 420 литров
Подвод газа: 4 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 4 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Специальная установка типа «с рулона на рулон» Tetra-500 с объемом камеры 500 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация, например, пленок).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2100 мм, Г 800 мм
Камера: Ш 1500 мм, В 1700 мм, Г 200 мм
Объем камеры: прибл. 500 литров
Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Держатель образца: 2 системы типа «с рулона на рулон»
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Специальная установка Tetra-575 с объемом камеры 575 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление, активация и нанесение покрытий).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 1150 мм, В 1900 мм, Г 1600 мм
Камера: Ш 600 мм, В 1200 мм, Г 800 мм
Объем камеры: прибл. 575 литров
Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 1 штука (40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Держатель образца: 22 яруса / поддона для обрабатываемых деталей (варьируется)
Управление: компьютерное управление (Windows)
Производственная установка Tetra-600 с объемом камеры 600 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).
Версия 1
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2200 мм, Г 800 мм
Камера: Ш 1000 мм, В 1000 мм, Г 600 мм
Объем камеры: прибл. 600 литров
Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Автоматизация: 11 ярусов / поддонов для обрабатываемых деталей
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-600 с объемом камеры 600 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).
Версия 2
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 1800 мм, В 1800 мм, Г 800 мм
Камера: Ш 580 мм, В 730 мм, Г 1000 мм Дверь с 2 смотровыми стеклами
Объем камеры: прибл. 600 литров
Подвод газа:2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 1 штука, автоматическое согласование
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-600 с объемом камеры 600 литров, компьютерным управлением и вращающимся барабаном используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2200 мм, Г 800 мм
Камера: ∅ 1100 мм, Г 700 мм
Объем камеры: прибл. 600 литров
Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Держатель образца: Вращающийся барабан (с 4 корзинами объемом по 30 литров)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-810 с объемом камеры 810 литров и компьютерным управлением используется для активации карбоновых волокон / композитов.
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 1200 мм, В 2200 мм, Г 2000 мм
Камера: Ш 900 мм, В 1100 мм, Г 900 мм
Объем камеры: прибл. 810 литров
Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 1 штука (80 кГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-850 с объемом камеры 850 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, активация).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 1500 мм, В 2000 мм, Г 800 мм
Камера: Ш 1300 мм, В 1800 мм, Г 400
Объем камеры: прибл. 850 литров
Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 1 штука (40 кГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-1200 с объемом камеры 1200 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, активация).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 1000 мм, В 1000 мм, Г 1800 мм
Камера: Ш 600 мм, В 1000 мм, Г 2000 мм
Объем камеры: прибл. 1200 литров
Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 3 штуки (по 40 кГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Производственная установка Tetra-2800 с объемом камеры 2800 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).
Технические данные:
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 1700 мм, Г 800 мм
Камера: ∅ 1200 мм, Г 2500 мм
Объем камеры: прибл. 2800 литров
Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 1 штука (40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus
Установка плазменной очистки низкого давления модели Femto производства Diener electronic (Германия).
Применение: очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы), создание гидрофобных и гидрофильных покрытий, карбонизация, снятие и подчистка фоторезста
Камера: цилиндрическая или прямоугольная, около 2 литров
Вакуумный насос на выбор
Ганератор 40 кГц, до 200 Вт или 13,56 МГц, до 300 Вт или 2,45 ГГц, до 300 Вт.
Управление: ручное или автоматическое (PLC или PC)
Газовые линии - до 3 шт (игольчатые глапана или MFC)
Установка плазменной очистки низкого давления модели Femto производства Diener electronic (Германия).
Применение: очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы), создание гидрофобных и гидрофильных покрытий, карбонизация, снятие и подчистка фоторезста
Камера: цилиндрическая или прямоугольная, около 2 литров
Вакуумный насос на выбор
Ганератор 40 кГц, до 200 Вт или 13,56 МГц, до 300 Вт или 2,45 ГГц, до 300 Вт.
Управление: ручное или автоматическое (PLC или PC)
Газовые линии - до 3 шт (игольчатые глапана или MFC)
Установка плазменной очистки при атмосферном давлении Plasma Pipette производства Femto Science (Корея).
Ручная установка „Plasma Pipette“ рассчитана на локальную предварительную обработку (очистку, активацию) различных поверхностей:
полимерных
металлических
керамических
стеклянных
из комбинированных материалов
Установка плазменной очистки при атмосферном давлении Plasma Pipette производства Femto Science (Корея).
Ручная установка „Plasma Pipette“ рассчитана на локальную предварительную обработку (очистку, активацию) различных поверхностей:
полимерных
металлических
керамических
стеклянных
из комбинированных материалов
Установка плазменной очистки низкого давления модели Tetra 2800 производства Diener electronic (Германия).
Производственная установка Tetra 2800-LF-PC с объемом камеры 2800 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).
Применение: очистка, активация, травление (серийные процессы)
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 1700 мм, Г 800 мм
Камера: ∅ 1200 мм, Г 2500 мм
Объем камеры: прибл. 2800 литров
Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 1 штука (40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus.
Установка плазменной очистки низкого давления модели Tetra 2800 производства Diener electronic (Германия).
Производственная установка Tetra 2800-LF-PC с объемом камеры 2800 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).
Применение: очистка, активация, травление (серийные процессы)
Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 1700 мм, Г 800 мм
Камера: ∅ 1200 мм, Г 2500 мм
Объем камеры: прибл. 2800 литров
Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)
Генератор: 1 штука (40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus.
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
