Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления и сушки фоторезиста MSX 1000

Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления фоторезиста MSX 1000 производства SVS (Ю. Корея).

Данная система имеет высокую производительность и низкую стоимость эксплуатации, гибкие опциональные возможности комплектации, модульная конструкция позволяет комплектовать каждую систему под индивидуальные нужды заказчика. Система идеально подходит для работы со степпером и автоматическими установками совмещения.

Автоматическая трековая система MSX 1000 обеспечивает работу с пластинами до 200 мм и квадратными подложками до 150х150мм, так же возможна единовременная работа с пластинами двух типов 2-4”, 4-6” и 6-8”, встроенная климатическая система обеспечивает стабильные параметры микроклимата в процессной камере. Система соответствует всем техническим требованиям нанесения тонкопленочных и толстопленочных покрытий и проявления фоторезиста.
Кассетная загрузка.

Особенности

• Гибкая модульная конструкция
• Высокая производительность (зависит от количества установленных модулей)
• Собственная встроенная климатическая система
• Высокий показатель однородности слоя по пластине
• Высокий показатель воспроизводимости процесса от пластины к пластине
• Установка горячей или холодной плиты для сушки резиста (опция)
• Установка HMDS (опция) 
• Возможность установки WEE модуля обработки края пластины
• Возможность установки EBR (Edge Bead Removal) модуля удаления валика на краю пластины
• Возможность установки BSRN (Back Side Rinse Nozzle) модуля отмывки обратной стороны
• Удобное и интуитивнопонятное программное обеспечение для работы с системой и создания готовых рецептов
• Компактная архитектура с роботом и кассетами, расположенным по центру
• Параллельная потоковая работа с подложками разных размеров позволяет оптимально использовать мощности системы
• Высокое качество нанесения на квадратные подложки без сбора фоторезиста по углам
• Возможность установки до 4 модулей нанесения/проявления фоторезиста
• Возможность установки до 8 горячих/холодных плит