Установка химико-механической планаризации E460 E

Установка химико-механической планаризации модели E460 E производства Alpsitec (Франция).

Установка химико-механической планаризации модели E460 E предназначена для задач полировки и планаризации полупроводниковых и др. пластин в  НИОКР, мелко-серийном производстве и опытном производстве. 
Установка позволяет обрабатывать как стандартные пластины диаметром 2",3",4",6" и 8", так и кусочки различной формы 10х10 мм² или др. 
Установка имеет возможность устанавливать до 10 шагов одного процесса с установкой своих уникальных параметров процесса для каждого из шагов. Установка имеет ручную загрузку пластин с автоматическим управлением процесса полировки.
Стандартные держатели для пластин используют вакуум для крепления, но также доступны и крепелние пластин на воск или на специальном шаблоне.
Также компания готова изготовить специальный держатель по требования заказчика.

Особенности

• Размеры пластин от кусочков до 8" (200 мм)

• Диаметр полировальника 460 мм или 480 мм (опция 615 мм)

• до 10 шагов в процессе

• Наличие вытяжки и кабинета

• Полировальники и оснастка для крепления щеток, алмазных дисков или кругов

• Различные процессы с различными расходниками (супензии и полировальники) в одной машине

• Модуль контроля температуры процесса

• Интегрированый датчик окончания процесса
• Детектор утечек воды
• Контроль процесса и его параметров: расход суспензии (до 4 суспензий), температура, скорость вращения полировальника, давление прижима, время процесса и др.