Установка напыления EvoVac

Вакуумная установка EvoVac производства Angstrom Engineering Inc. (Канада) -одна из самых больших из серии установок Angstrom Engineering и имеет наибольшие возможности по конфигурирования системы для задач заказчика. Может оснащаться перчаточным боксом и загрузочным шлюзом.

С расширением популярности линейки установок Åmod система EvoVac самая большая по размерам установка позволяющая иметь большую гибкость по сравнению с другими. Улучшения в части большей двери и увеличения размера камеры позволяет устанавливать большие по размеру источники. Установка для исследований требующих установки большего количества различных источников в одной камере.

Возможность установки нескольких разных процессов в одной камере.   
Вакуумный загрузочный шлюз

Процессы:
резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation) 
магнетронное напыление (magnetron sputtering deposition)
электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation)
ионное напыление (ion-assisted deposition)

Особенности вакуумной установки EvoVac

• Возможность обрабатывать на пластины диаметром до 300 мм (или до 3 х 100 мм, 150 х 150 мм) с заданием различной скорости вращения держателя

• Продвинутая система управления на базе ПК.

• Камера из алюминия или нержавеющей стали (опция).

• Длинная дистанция между источниками и подложкой.

• Конструкция готовая к интегрированию в перчаточный бокс (опция).

• Наполнение различными источниками PVD процессов согласно требованиям заказчика.

• Поддержка нескольких разных PVD процессов в одной камере.

• 1600мм х 1000мм - площадь занимаемая системой.

• 700мм x 700мм x 500мм (ШхВхГ) камера с выдвижной дверью на петлях (возможна D-образная камера)

• Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов.

• Процесс последовательного или параллельного (co-deposition) напыления.

• Диаметр обрабатываемых подложек до 300мм. (пластины большего диаметра по запросу).

• Оснащение вакуумный загрузочным шлюзом (опция)

• Контроль вакуума и вакуумная система:

  - Автоматический форвакуумный насос

  - Сухие насосы (опция)

  - Высокий вакуум обеспечивается крио насосом или турбомолекулярным насосом 

  - Пневматически воздушный фильтр

• Управление процессом осаждения:

  - теневая маска и выравнивание подложки

  - легко и быстро устанавливаемые датчики для поддержки и контроля процесса

  - датчики скорости осаждения для контроля и управления процессом

  - конфигурация для реализации процесса соосаждения- co-deposition (параллельное осаждение нескольких материалов для получения сплава)

  - QCM - изолированный кварцевый датчик обеспечивает отсутствие интерференции при напылении от прилегающих источников или оптический контроль

  - Изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения от перекрестного напыления.

  - Нагрев или охлаждение подложки (по запросу), охлаждение или доп. смещение на подложку

  - Планетарное вращение (опция), напыление под различными углами (GLAD держатель - опция)