EddyCus® TF inline

SURAGUS GmbH (Германия) - немецкая компания, специализирующаяся на предоставлении решений для неразрушающего контроля материалов (Измерение удельного сопротивления материалов и пленок - sheet-resistance-measurements for thin films characterization). Компания использует новые технические возможности и технические достижения в области микроэлектроники, технологии производства и миниатюризации, а также компьютерные технологии для разработки решений в электроиндуктивной дефектоскопии для нужд заказчиков.

Общие применения разнообразны и включают в себя архитектурные стекла, датчики сенсорных панелей, дисплеи, приложения OLED, PV, смарт-стекло, прозрачные антистатические пленки или фольги, нагревательные приборы и многое другое. Типичными тестируемыми (измеряемыми) материалами являются металлические слои (например, Ag, Cu, Al), TCO (например, ZnO, ITO, FTO), углеродные нанотрубки (CNT), металлические нанопровода, графен, легированные кремниевые пластины и многие другие. Серия EddyCus TF включает стандартные и индивидуальные решения для лабораторных (lab) и линейных приложений (inline), а также для картографирования с высоким разрешением (map) и переносных решений (partable).

EddyCus® TF inline производства SURAGUS GmbH (Германия)  -  прибор для измерения толщины и поверхностного сопротивления пленок в потоке.

EddyCus® TF inline - это точная, бесконтактная (в реальном времени) система контроля толщины и поверхностного сопротивления пленок, направленная на обеспечение качества и контроль процесса процессов осаждения токопроводящих тонких пленок. Встроенный мониторинг контроля толщины и поверхностного сопротивления пленок, оценка гомогенности пленки могут быть использованы для максимизации производительности машины, оптимизации использования материала (более высокая целевая производительность) и обеспечения качества ввода / вывода продукции.

Применение:
Архитектурное стекло (LowE)
Дисплеи, сенсорные экраны 
OLED и LED применения
Смарт-стекла
Графеновые слои
Фотовольтаика
Полупроводниковые пластины
Слои метализации
Слои для борьбы с обледенением 
Электроды батарей
Упаковочная пленка или фольга
Проводящая бумага и проводящий текстиль

Измеряемые параметры:
Поверхностное сопротивление R_sq [Ом/квадрат]
Толщина металлических слоев [мкм, нм]
Определение дефектов и анализ слоев
Измерение остаточной влаги во влажных слоях методом бесконтактного измерения диэлектрической проницаемости

Особенности

• Метод измерения - бесконтактный, в режиме реального времени и потоке
• Диапазон измерения поверхностного сопротивления: от 0,001 до 1000 Ом / кв. (другой диапазон по запросу).
• Толщина проводящих пленок от 5 нм до 300 мкм 
• Размер подложек: по запросу. от 1 до 99 линиий
• Толщина подложек (gap size): 5/15/25/35 мм (другой по запросу)
• Измерени в вакууме (in-situ)
• Частота дискретизации: 1/10/100/250 выборок в секунду на линию измерения (другие по запросу).
• Интерфейс на базе Windows 

Брошюра TF inline в PDF

Видеопрезентация TF inline

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru