Спектроскопические эллипсометры ES01 / EGS01 для исследований и производства от Ellitop Scientific (Китай)

ES01/EGS01 - серия универсильных спектроскопических эллипсометров производства Beijing Ellitop Scientific Co.Ltd (Китай) с диапазоном длин волн: DUV-VIS-NIR (ГУФ-ВИД-ИК) специально разработанных для исследований с возможностью проведения измерений толщин одно-  и многослойных пленок и пленочных структур под различными углами и для измерения оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей в УФ и видимого и ИК диапазонах длин волн. Измерение нанопленок.

Спектральный диапазон: от 193 до 2500 нм (в зависимости от модели)
Самоколлимационный телескоп (Self-collimation Telescope - SCT) и микроскоп для точного выравнивания образцов (по высоте и двумерному наклону). Электронное выравнивание изображений на основе видео
Программный пакет на английском языке
Толщина пленок: от 1 Å до 200 мкм (зависит от пленки и оптиеских параметров)
Большое количество опций

Линейка моделей серии EGS01:
EGS01-DUL: спектральный диапазон 193 - 1000 нм
EGS01-DUI: спектральный диапазон 193 - 1700 нм
EGS01-DIX: спектральный диапазон 193 - 2100 нм
EGS01-U: спектральный диапазон 245 - 1000 нм
EGS01-UI: спектральный диапазон 245 - 1700 нм
EGS01-UIX: спектральный диапазон 245 - 2100 нм
EGS01-UIX2: спектральный диапазон 245 - 2500 нм
EGS01-V: спектральный диапазон 370 - 1000 нм
EGS01-VI: спектральный диапазон 370 - 1700 нм
EGS01-VII: спектральный диапазон 370 - 2100 нм
EGS01-NIR: спектральный диапазон 1000 - 1700 нм
EGS01-NIRX: спектральный диапазон 1000 - 2500 нм

Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления как единичных слоев так и многослойных пленок в производстве или лаборатории.
- Исследования
- Нанатехнологии
- Фотовольтаика
- Микроэлекроника
- Органическая электроника
- Покрытия на стекле
- Дисплеи
- Биотехнологии
- Естественные науки

Особенности

• Широкий спектральный диапазон в зависимости от модели (193-2500 нм.)
• Высокая стабильность и точность при измерения
• Принцып работы: P-C1-S-C2-A (P - polarizer, C1 - compensator, S - sample, C2 - compensator, A - analyzer)
• Высокая скорость измерения образцов
• Измерение толщин пленок от 1 Å до 200 мкм. (ультра-тонкие пленки)
• Измерение оптических характеристик пленок
• Высокоточное выравнивание образца по углу наклона и высоте с помощью самоколлимационного телескопа (Self-collimation Telescope - SCT)  и микроскопа для точного выравнивания образцов (по высоте и двумерному наклону). Электронное выравнивание изображений на основе видео
• Измерения на прозрачных и поглощающих подложках
• Измерение при разных углах плечей эллипсометра (скатерометрия)
• Удобное программное обеспечение  
• Полный пакет предустановленных применений в микроэлектронике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др.
• Дружественный интерфейс.
• Высокая скорость измерений (менее 10 сек для полного спектра, более 500 длин волн)
• Мощный пакет программного обеспечения для спектроскопической эллипсометрии, позволяющий проводить измерение Ψ (psi),  Δ (delta) , tan(Ψ), cos(Δ), коэффициентов Фурье (S₁, S₂), коэффициенты отражения (R, Rp, R_s), коэффициенты отражения (T), оптические сфойства (n, k, n_e, n_o, k_e, k_o), свойство материалов, интенсивности рассеяния света как зависимость от длины волны, угла падения.  ПО обеспечивает получение данных, управление файлами, вывод в численном и/или графическом виде измеренных данных и спектров, анализ всех видов оптических спектральных функций, моделирование результатов и др. ПО включает в себя большую библиотеку оптических данных и готовых к использованию диэлектрических функций.

Опции:

• Видеокамера и микроскоп для инспекции образца
• Моторизованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 100х100 мм, до 200х200 мм и до 300х300 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования). Опция меппинга (моторизованный столик для образцов с компъютерным управлением) и ПО позволяет анализировать однородность распределения толщины пленки на образце. Данные могут быть выведены как 2D- и 3D- изображение распределения толщины с полной статистикой.
• Микроспот (фокусировка пятна: 180 мкм) в VIS диппазоне 
• Автоматический моризованный гониометр (30^о-90^о) с точностью устанвки угла (0,02^о)
• Столик с автоматическим выравниваниванием образца по углу наклона (дивпазон: θX=±10°, θY=±15°)
• Автофокус с диппазоном перемещени по Z: 10 и 20 мм соответвенно (на выбор) 
• Столики с нагревом или охлаждением
• Жидкостные ячейки
• Пористые адсорбционные стенды для образцов
• Анизотропия и вращающиеся столики 
• Измерени на просвет
• Измерение 16-тизначной матрицы Мюллера