Установка плазменной очистки COVANCE

Установка плазменной очистки и активации поверхности модели COVANCE (*конфигурация COVANCE-3MPR) с PLC контролем производства компании Femto Science (Ю. Корея). Установка готова к отгрузке нашим заказчикам в самые кратчайшие сроки. 

Применение: очистка, удаление органики с поверхности, активация, травление (мелкосерийные процессы).

Комплектация установки COVANCE 

• Установка плазменной обработки, модель «COVANCE» Конфигурация: COVANCE-3MPR   состоит из

  Основной корпус: 510 × 525 × 640 мм (Ш×Г×В)

  Вакуумная камера - Горизонтальный тип, прямоугольная вакуумная камера - Камера из алюминия без сварных швов (для минимизации утечек) - PE режим (одиночный электрод) / размер: 200 × 220 × 160 мм (Ш×Г×В) - Датчик вакуума Пирани (показывает давление в камере)

  Подача газов / Газовые линии (3 штуки с MFC) - MFC с высокой воспроизодимостью от ATOVAC - кол-во: 3 шт. (для двух газовых линий) - Процессные газы: O2, Ar, N2 или др. / расход: Max. 200 sccm

  Генератор плазмы - генератор 20-100 кГц (можно мнтья частоту с шагом 10 кГЦ), мощность до 200 Вт.

  Соединение COVANCE, (220-230 В)

  Программное обеспечение и управление - Интерактивный пользовательский интерфейс с высокой управляемостью во всей системе. - контроллер: 7" встроенный тач. Цветной дисплей - Ручное и автоматическое управление (до 10 рецептов процессов)

  Продувка & откачка - откачка ×1 EA (LOK 1/4” фиттинг) / продувка ×1 EA (LOK 1/4” фитинг)

  Вакуумный насос включая трубки - модель RV8: масляный роторный наос