Спектроскопический (спетральный) рефлектометр RM 1000 QC производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для исследований и производства. Применяются для измерения прозрачных, плохо абсорбирующих пленок на отражающих, прозрачных и абсорбирующих образцах спектроскопическим методом, основанном на преломлении белого света на пластина с топологией.
QC - Quality Control
Измерене показателя преломления и толщины пленок на различных типах поверхностей. В том числе рутинные измерения в изготовлении изделий микроэлектроники (измерения толщины резистов, окислов и т.п) на пластине с топологией.

- Pattern recognition программное обеспечение (на базе HALCON)
- Картирование по XY в диапазоне 200х200 мм. 
- Измерение на пластинах до 8" (200мм)
- Размер пятна 90x90 мкм или 145x145 мкм (стандарт), опционально 30x30 мкм или 60x60 мкм (опция: RM OE)
- Мощное ПО для спектроскопических измерений SpectraRay/4
- Опционально SECS/GEM интерфейс
- Камера для автоматического выравнивания столика

Спектральный диапазон:
RM 1000 QC:  400-1000 нм. (VIS) или 400-1650 нм (VIS/NIR) 

В область измерений, осуществляемых данными приборами, входят измерения однослойных и многослойных покрытий на полупроводниках, стекле, пластике, металле и глянцевой бумаге

Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления единичных слоев или многослойных прозрачных и полупрозрачных пленок в производстве или лаборатории на пластинах с топологией.

Особенности

• Измерение пленок как на гладких так и на шероховатых поверхностях.
• Полуавтоматические измерения толщины пленок на пластинах с топологией с Pattern Recognition программным обеспечением
• Расширенный диапазон измерения толщин пленок от 20 до 50000 нм
• Размер пятна измерения 90x90 мкм или 145x145 мкм (стандарт), опционально 30x30 мкм или 60x60 мкм (опция: RM OE)
• Высокая стабильность и точность при измерении. 
• Измерение на пластинах до 8" (200мм) с картирование до 200х200 мм. Центрирующие пины для плпстин 4", 6", 8"
• Автоматическая турель объективов (на 2 позиции)
• Автоматическое выравнивание пластины с высокой точностью (регулировка по высоте и углу наклона) с помощью автоколлиматического телескопа (АСТ).
• Полный пакет предустановленных применений в микроэлектронике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др.
• Дружественный интерфейс и легкость работы.
• Высокая скорость измерений
• Программное обеспечение spectraRay/4 для проведения измерений, включающее в себя библиотеку приложений Брошюра RM 1000 QC в PDF