Перед установкой нового газового баллона в линию с газораспределительным устройством системы газоснабжения необходимо удалить технологический газ, оставшийся от предшествующего газового баллона. Это делается как в целях безопасности, так и в целях обеспечения непрерывности подачи свежего газа. Остаточный газ может оказаться высококонцентрированным токсичным, самовоспламеняющимся или агрессивным газом, что представляет собой значительную угрозу безопасности.
Безопасность решения по удалению опасных продувочных газов при помощи картриджа CLEANVENT доказана более чем 20-летним опытом использования. При установке внутри газораспределительного устройства на стороне всасывания вакуумного генератора с трубкой Вентури или внутри газораспределительного шкафа картридж CLEANVENT обеспечивает возможность очистки остаточных газов «у источника».
Очищаемые газы откачиваются через слой поглотителя в картридже и очищаются от опасных газов в ходе необратимой химической конверсии в твердую фазу. Перезаряжаемые картриджи CLEANVENT доступны для использования с широким спектром специальных газов, на них распространяется поддержка глобальной сети сервисных партнеров CS CLEAN SYSTEMS.
Скрубберы с сухой засыпкой (гранулы) CLEANSORB для нейтрализации отходящих газов при проведении процессов: плазменного травления, ионной имплантации, PECVD, LPCVD процессов, плазменной очистки камер, эпитаксии, изготовление фотоэлементов и газоснабжении.
Экологичная технология CLEANSORB позволяет безопасно нейтрализовать вредные отходящие газы, не расходуя при этом ни энергию, ни воду, ни топливо. Отсутствуют вторичные выбросы в окружающую среду в виде сточных вод или окислов азота. Кроме того, все продукты компании рассчитаны на бессрочную эксплуатацию и пригодны для повторного использования.
Скрубберы с сухой засыпкой (гранулы) CLEANSORB для нейтрализации отходящих газов при проведении процессов: плазменного травления, ионной имплантации, PECVD, LPCVD процессов, плазменной очистки камер, эпитаксии, изготовление фотоэлементов и газоснабжении.
Экологичная технология CLEANSORB позволяет безопасно нейтрализовать вредные отходящие газы, не расходуя при этом ни энергию, ни воду, ни топливо. Отсутствуют вторичные выбросы в окружающую среду в виде сточных вод или окислов азота. Кроме того, все продукты компании рассчитаны на бессрочную эксплуатацию и пригодны для повторного использования.
Устройство CLEAN-PROTECT предназначено для поглощения токсичных или других опасных газов при аварийном выбросе газа. Данное предохранительное устройство обеспечивает защиту от неконтролируемого выброса токсичных, агрессивных или самовоспламеняющихся газов из одного или нескольких газораспределительных устройств системы газоснабжения, таким образом обеспечивая защиту производственных помещений и прилегающей к заводу местности.
Устройство CLEAN-PROTECT предназначено для поглощения токсичных или других опасных газов при аварийном выбросе газа. Данное предохранительное устройство обеспечивает защиту от неконтролируемого выброса токсичных, агрессивных или самовоспламеняющихся газов из одного или нескольких газораспределительных устройств системы газоснабжения, таким образом обеспечивая защиту производственных помещений и прилегающей к заводу местности.
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
