+7 (495) 909-89-53

Установка химико-механической планаризации E460 E

Установка химико-механической планаризации модели E460 E производства Alpsitec (Франция).

Установка химико-механической планаризации модели E460 E предназначена для задач полировки и планаризации полупроводниковых и др. пластин в  НИОКР, мелко-серийном производстве и опытном производстве. 
Установка позволяет обрабатывать как стандартные пластины диаметром 2",3",4",6" и 8", так и кусочки различной формы 10х10 мм2 или др. 
Установка имеет возможность устанавливать до 10 шагов одного процесса с установкой своих уникальных параметров процесса для каждого из шагов. Установка имеет ручную загрузку пластин с автоматическим управлением процесса полировки.
Стандартные держатели для пластин используют вакуум для крепления, но также доступны и крепелние пластин на воск или на специальном шаблоне.
Также компания готова изготовить специальный держатель по требования заказчика.

Особенности

  • Размеры пластин от кусочков до 8" (200 мм)

  • Диаметр полировальника 460 мм или 480 мм (опция 615 мм)
  • до 10 шагов в процессе

  • Наличие вытяжки и кабинета

  • Полировальники и оснастка для крепления щеток, алмазных дисков или кругов

  • Различные процессы с различными расходниками (супензии и полировальники) в одной машине
  • Модуль контроля температуры процесса

  • Интегрированый датчик окончания процесса
  • Детектор утечек воды
  • Контроль процесса и его параметров: расход суспензии (до 4 суспензий), температура, скорость вращения полировальника, давление прижима, время процесса и др.
Запросить брошюру в PDF

Характеристики

Размеры (Ш х Г х В), мм 850 х 1353 х 2062
Вес, кг. 800 кг.
Размер пластин от кусочков до 8" (200 мм)
Занимаемая площадь, м2 1,15 
Электропитание 220-380 В, 3 фазы, 50-60 Гц.
Сжатый воздух 6-7 Бар (5 Бар минимально)
Вода 1 Бар
Мощность  около 2,5 кВт
Потребление 40 литвов воды в час
сжатый воздух 80 литров в мин.
Мощность до 3 кВт
вакуум

Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Новости

Все новости

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее