Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления фоторезиста MSX 1000 производства SVS (Ю. Корея).
Данная система имеет высокую производительность и низкую стоимость эксплуатации, гибкие опциональные возможности комплектации, модульная конструкция позволяет комплектовать каждую систему под индивидуальные нужды заказчика. Система идеально подходит для работы со степпером и автоматическими установками совмещения.
Автоматическая трековая система MSX 1000 обеспечивает работу с пластинами до 200 мм и квадратными подложками до 150х150мм, так же возможна единовременная работа с пластинами двух типов 2-4”, 4-6” и 6-8”, встроенная климатическая система обеспечивает стабильные параметры микроклимата в процессной камере. Система соответствует всем техническим требованиям нанесения тонкопленочных и толстопленочных покрытий и проявления фоторезиста.
Кассетная загрузка.
Размер подложки | до 8’‘ (Ø 200 мм) / до 150х150 мм |
Возможность единовременной работы на двух типах подложек | 2” - 4” или 4” - 6”или 6” - 8” |
Количество технологических модулей |
нанесение/проявление до 4 шт. горячих/холодных плит до 8 шт. |
Скорость вращения | до 6000 об/мин |
Ускорение | Ускорение и скорость задается оператором |
Модуль адгезива с нагревом | от 50 до 200°С |
Горячая плита (термостол) | от 50 до 200°С (±0,8°С) |
Холодная плита | от 20 до 25°С (±0,2°С) |
Управление | Программатор |
Загрузка пластин | автоматическая роботизированная |
Однородность нанесения от пластины к пластине | 0,63% |
Вакуумный прижим | да |
Электропитание | 220 В, 50А, 1 фаза |
Размеры | 1550 х 1270 х 1800 мм. |
Термоплитка для сушки фоторезиста ND-1 от AS One (Япония).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 170х170 мм.
Цифровой дисплей
Максимальная температура: 350 oC
Термоплитка для сушки фоторезиста ND-1 от AS One (Япония).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 170х170 мм.
Цифровой дисплей
Максимальная температура: 350 oC
Продвинутая установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC4000L производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 400х400 мм.
Перемещение по XY: 400 x 400 мм
Размеры установки: 1040 мм x 750 мм x 950 мм (ГxШxВ)
Продвинутая установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC4000L производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 400х400 мм.
Перемещение по XY: 400 x 400 мм
Размеры установки: 1040 мм x 750 мм x 950 мм (ГxШxВ)
Установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC1000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 200х200 мм.
Перемещение по XY: 200 x 200 мм
Размеры установки: 650 мм x 600 мм x 870 мм (ГxШxВ)
Установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC1000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 200х200 мм.
Перемещение по XY: 200 x 200 мм
Размеры установки: 650 мм x 600 мм x 870 мм (ГxШxВ)