+7 (495) 909-89-53

Установка плазменной очистки ATTO (low cost system)

ATTO hinged door_jpgatto_ext-pcatto_pc

Установка плазменной очистки низкого давления модели ATTO производства Diener electronic (Германия).

Применение: очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы)

мелкосерийное производство
аналитика (SEM, TEM)
медицина
стерилизация
исследования
археология
обработка текстиля
полупроводники
обработка пластиков

Особенности

  • Камера: цилиндрическая, 10,5 литра

  • Вакуумный насос: 3 или 5 м3/час

  • Датчик давления Pirani (опция)
  • Ганератор 40 кГц, до 100 Вт или 13,56 МГц, до 50 Вт.

  • Управление: ручное или автоматическое (PLC или PC)

  • Газовые линии - до 2 шт. (игольчатые глапана или MFC)

Скачать брошюру ATTO в PDF

Характеристики

Тип установки плазма низкого давления
Вакуумная камера цилиндрическая, около 10,5 литров: 
Ø 211 mm, глубина 300 мм 
Материал камеры Боросиликатное стекло или кварцевое стекло
Подвод газа до 2-х газовых линий с игольчатым клапанов или MFC
Генератор плазмы 40 кГц, 200 Вт
13,56 МГц, 50 Вт
Контроль Ручной 
PCCE-Control (Microsoft Windows CE) - PLC
PC-Control (Microsoft Windows XPe) - PC
Производительность вакуумного насоса
сухой насос, 3 до 5 м3/ час
Подключение 220 В, 50 Гц

Видеопрезентация установки ATTO


Видеопрезентация фирмы Diener



Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Новости

Все новости

Система плазменной очистки ATTO с нашего склада в Москве

Подробнее

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее