+7 (495) 909-89-53

Установка плазменной очистки Pico

Pico_2Pico_3Pico_4Pico_5Pico_6Pico_7pcce_main_encontrol_pc.gif

Установка плазменной очистки низкого давления модели Pico производства Diener electronic (Германия).

Применение: очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы), создание гидрофобных и гидрофильных покрытий, карбонизация, снятие и подчистка фоторезста

мелкосерийное производство
аналитика (SEM, TEM)
медицина
стерилизация
исследования
археология
обработка текстиля
полупроводники
обработка пластиков

Особенности

  • Камера: цилиндрическая или прямоугольная, около 5 литров

  • Вакуумный насос на выбор

  • Датчик давления Pirani (опция)
  • Ганератор 40 кГц, до 1000 Вт или 13,56 МГц, до 300 Вт или 2,45 ГГц, до 300 Вт.

  • Управление: ручное или автоматическое (PLC или PC)

  • Газовые линии - до 3 шт. (игольчатые глапана или MFC)

Скачать брошюру Pico в PDF

Характеристики

Тип установки плазма низкого давления
Вакуумная камера цилиндрическая, около 5 литров: Ø 130 мм, глубина 300 мм
прямоугольная, около 8 литров: 160 х 160 х 325 мм
Материал камеры Боросиликатное стекло или кварцевое стекло или нержавеющая сталь
Подвод газа до 3-х газовых линий с игольчатым клапанов или MFC
Генератор плазмы 40 кГц, до 200 Вт
13,56 МГц, до 300 Вт
2,45 ГГц, до 300 Вт
Контроль Ручной 
PCCE-Control (Microsoft Windows CE) - PLC
PC-Control (Microsoft Windows XPe) - PC
Производительность вакуумного насоса
сухой насос или лопастной по выбору
Подключение 220 В, 50 Гц или 400В, 3 фазы (в зависимости от конфигурации)

Видеопрезентация установки Pico


Видеопрезентация фирмы Diener



Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru

Новости

Все новости

Международная выставка испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing & Control

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецким специалистом по метрологии SURAGUS

Подробнее

Новая установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Подробнее

МИНАТЕХ начинает сотрудничество с немецкой компанией Accurion GmbH

Подробнее

Процесс совмещения на установках MLA от HIMT

Подробнее

Новый компактный 3D профилометр-конфокальный микроскоп S lynx от SENSOFAR

Подробнее

SENTECH анонсировал новую серию спектроскопических эллипсометров SENresearch 4.0.

Подробнее