MINILAB - полностью укомплектованная литографическая лаборатория, производства MIDAS SYSTEM (Корея) включающая центрифугу для нанесения фоторезиста, термостолик сушки и задубливания и станцию (генератор) деионизованной воды.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 100 мм (до 150 мм - опция)
Состав мини лаборатории:
- Центрифуга нанесения фоторезиста - SPIN-1200T
- Термостолик для сушки и задубливания
- Генератор деионизованной воды
- N2 и DIW пистолеты
- Кабинет
Размеры минилаборатории: 1000(Ш)x560(Г)x1630(В)
| ЦЕНТРИФУГА | |
| Размер подложки | от 5х5 мм до 100 мм (до 150 мм - опция) |
| Скорость вращения | от 300 до 10000 об/мин +/-1% для не загруженного держателя |
| Ускорение | Ускорение и скорость задается оператором |
| Управление | Цветной touch screen дисплей, 20 рецептов, 50 шагов |
| Размер барабана | 8 дюймов, материал Ацеталь |
| Мотор | DC сервомотор |
| Корпус | Нержавеющая сталь |
| Вакуумный прижим | Анодированный алюминий |
| Электропитание | 220 В, 50 Гц. |
| Размеры | 230 х 340 х 260 мм. |
| ТЕРМОСТОЛИК | |
| Управление | Цифровой дисплей, программирование до 8 шагов |
| Размер плиты | 170х170 мм |
| Максимальная температура | 350 oC |
| Размеры | 240×280×90 мм |
| DIW генератор | |
| Производительность | 10 литров в час |
| Управление | LED дисплей |
| Вода | 25 мкСм/см |
| Емкость | 20 литров |
| Размеры | 350х350х500 мм |
Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления фоторезиста серии DAVID производства CND PLUS (Ю. Корея).
Автоматическая трековая система обеспечивает работу с пластинами до 300 мм и квадратными подложками до 200х200мм, так же возможна единовременная работа с пластинами двух типов 2-4”, 4-6”, 6-8” и 8-12”, встроенная климатическая система обеспечивает стабильные параметры микроклимата в процессной камере. Система соответствует всем техническим требованиям нанесения тонкопленочных и толстопленочных покрытий и проявления фоторезиста.
Кассетная загрузка. FOUP кассета опционально.
Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления фоторезиста серии DAVID производства CND PLUS (Ю. Корея).
Автоматическая трековая система обеспечивает работу с пластинами до 300 мм и квадратными подложками до 200х200мм, так же возможна единовременная работа с пластинами двух типов 2-4”, 4-6”, 6-8” и 8-12”, встроенная климатическая система обеспечивает стабильные параметры микроклимата в процессной камере. Система соответствует всем техническим требованиям нанесения тонкопленочных и толстопленочных покрытий и проявления фоторезиста.
Кассетная загрузка. FOUP кассета опционально.
Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления фоторезиста MSX 1000 производства SVS (Ю. Корея).
Автоматическая трековая система MSX 1000 обеспечивает работу с пластинами до 200 мм и квадратными подложками до 150х150мм, так же возможна единовременная работа с пластинами двух типов 2-4”, 4-6” и 6-8”, встроенная климатическая система обеспечивает стабильные параметры микроклимата в процессной камере. Система соответствует всем техническим требованиям нанесения тонкопленочных и толстопленочных покрытий и проявления фоторезиста.
Кассетная загрузка.
Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления фоторезиста MSX 1000 производства SVS (Ю. Корея).
Автоматическая трековая система MSX 1000 обеспечивает работу с пластинами до 200 мм и квадратными подложками до 150х150мм, так же возможна единовременная работа с пластинами двух типов 2-4”, 4-6” и 6-8”, встроенная климатическая система обеспечивает стабильные параметры микроклимата в процессной камере. Система соответствует всем техническим требованиям нанесения тонкопленочных и толстопленочных покрытий и проявления фоторезиста.
Кассетная загрузка.
Настольная лабораторная центрифуга SPIN-3000A производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и программатором для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 200 мм
AC сервомотор
Настольная лабораторная центрифуга SPIN-3000A производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с ручным управлением и дозированием фоторезиста и программатором для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 200 мм
AC сервомотор
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
