Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления фоторезиста серии DAVID производства CND PLUS (Ю. Корея).
Автоматическая трековая система обеспечивает работу с пластинами до 300 мм и квадратными подложками до 200х200мм, так же возможна единовременная работа с пластинами двух типов 2-4”, 4-6”, 6-8” и 8-12”, встроенная климатическая система обеспечивает стабильные параметры микроклимата в процессной камере. Система соответствует всем техническим требованиям нанесения тонкопленочных и толстопленочных покрытий и проявления фоторезиста.
Кассетная загрузка. FOUP кассета опционально.
Данная система имеет высокую производительность и низкую стоимость эксплуатации, гибкие опциональные возможности комплектации, модульная конструкция позволяет комплектовать каждую систему под индивидуальные нужды заказчика. Система идеально подходит для работы со степпером и автоматическими установками совмещения.
Размер подложки | до 12’‘ (Ø 300 мм) / до 200х200 мм |
Возможность единовременной работы на двух типах подложек | 2” - 4” или 4” - 6”, 6” - 8”, 8” - 12” |
Количество технологических модулей |
нанесение/проявление до 5 шт. горячих/холодных плит до 18 шт. |
Скорость вращения | до 6000 об/мин (±1 rpm) |
Ускорение | Ускорение и скорость задается оператором |
Модуль адгезива с нагревом | от 50 до 200°С |
Горячая плита (термостол) | от 50 до 300°С (<1,5°С) |
Холодная плита | от 15 до 30°С (<0,2°С) |
Управление | Программатор |
Загрузка пластин | автоматическая роботизированная |
Однородность нанесения от пластины к пластине | <1% (точный паремерт зависит от диаметра пластины) |
Вакуумный прижим | да |
Электропитание | 220 В, 50А, 1 фаза |
Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления фоторезиста MSX 1000 производства SVS (Ю. Корея).
Автоматическая трековая система MSX 1000 обеспечивает работу с пластинами до 200 мм и квадратными подложками до 150х150мм, так же возможна единовременная работа с пластинами двух типов 2-4”, 4-6” и 6-8”, встроенная климатическая система обеспечивает стабильные параметры микроклимата в процессной камере. Система соответствует всем техническим требованиям нанесения тонкопленочных и толстопленочных покрытий и проявления фоторезиста.
Кассетная загрузка.
Полностью автоматическая трековая система для нанесения и проявления фоторезиста MSX 1000 производства SVS (Ю. Корея).
Автоматическая трековая система MSX 1000 обеспечивает работу с пластинами до 200 мм и квадратными подложками до 150х150мм, так же возможна единовременная работа с пластинами двух типов 2-4”, 4-6” и 6-8”, встроенная климатическая система обеспечивает стабильные параметры микроклимата в процессной камере. Система соответствует всем техническим требованиям нанесения тонкопленочных и толстопленочных покрытий и проявления фоторезиста.
Кассетная загрузка.
Центрифуга SPIN-4000A производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с автоматическим дозированием фоторезиста или проявителя и программатором (touch screen дисплей) для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 300 мм
AC сервомотор
Центрифуга SPIN-4000A производства MIDAS SYSTEM (Корея) для нанесения/проявления фоторезиста или сушки с автоматическим дозированием фоторезиста или проявителя и программатором (touch screen дисплей) для управления процессом, создания рецептов.
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин диам. 300 мм
AC сервомотор
Установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC1000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 200х200 мм.
Перемещение по XY: 200 x 200 мм
Размеры установки: 650 мм x 600 мм x 870 мм (ГxШxВ)
Установка ультразвукового нанесения фоторезиста спреем модели UEC1000 производства CHEERSONIC UlLTRASONICS CO.,LIMITED (Китай).
Размер подложек: от кусочков 5х5 мм до пластин 200х200 мм.
Перемещение по XY: 200 x 200 мм
Размеры установки: 650 мм x 600 мм x 870 мм (ГxШxВ)