Заявка на обратный звонок

Контактное лицо*
Номер телефона*
* - обязательные для заполнения поля
Введите этот код
###
+7 (495) 909-89-53
Обратный звонок
RU | EN
Минатех » English » Equipment » Technology equipment » Mask Aligners » MDA-400M-6 Manual Mask Aligner with PC/PLC control

MDA-400M-6 Manual Mask Aligner with PC/PLC control

Установка совмещения и экспонирования MDA-400M-6 с ручным управлением и PC/PLC контролем фото

MDA-400M-6 from MIDAS SYSTEM (Korea) - Manual Mask Aligner with PC/PLC control.

Easy operation & Installation , Handling Substrates of Various sizes , PLC Operation with PC control

  • Alignment accuracy - 1 micron. 
  • Wafers up to 150 mm (6 inches).
  • Max mask size:  178х178 mm (7х7 inches)
  • Manual Aligment and Auto Exposure
  • PC and PLC control

Specification

  • Type - Fully manual
  • Mask size - up to 7 inch
  • Substrate size - piece to 6 inch circle
  • Uniform beam size - 6.25 * 6.25 inch
  • UV light source - UV Lamp, 350 W
  • Beam wavelength - 350 ~ 450 nm
  • Beam uniformity - <±3 %
  • 365 nm intensity - ~ 25 mW/㎠
  • Alignment method - manual
  • Alignment accuracy - 1 um
  • Process mode - Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity
  • Process resolution - 1 um @ 1 um PR thickness with vacuum contact
  • Weight (kg) - 150
  • Dimensions (mm) - 1080(W) * 1060(D) * 1580(H)
Download in PDF

Scheme of MDA-400M-6



Запросить предложение можно по ссылке или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru  

Запросить предложение товара

MDA-400M-6 Manual Mask Aligner with PC/PLC control

Также Вас может заинтересовать
MDA-400M Manual Mask Aligner

MDA-400M from MIDAS SYSTEM (Korea) fully manual. 

Easy operation & Installation , Handling Substrates of Various sizes , PLC control with Touch screen panel

Alignment accuracy - 1 micron. 
ОWafers up to 150 mm.
Mask Mask size: 127х127 mm (5х5 inches)
Manula aligment and auto exposure

MDA-400M from MIDAS SYSTEM (Korea) fully manual. 

Easy operation & Installation , Handling Substrates of Various sizes , PLC control with Touch screen panel

Alignment accuracy - 1 micron. 
ОWafers up to 150 mm.
Mask Mask size: 127х127 mm (5х5 inches)
Manula aligment and auto exposure

Уже установлено в России и СНГ: 5 шт
MDA-40FA / MDA-80FA / MDA-12FA - Fully auto mask aligner

MDA-40FA / MDA-80FA / MDA-12FA from MIDAS SYSTEM (Korea) - Fully auto mask aligner.

Easy operation UI , PLC Operation with PC control , Image grab & Data log , More than 100 Program recipes , Microscope position control system , Auto Align mark searching function.

BSA - option 
Wafers up to: до 50, 100 mm / 150, 200mm. / 200, 300 mm.
Fully Auto Alignment anf Fully Auto Exposure. Casset to Cassete

MDA-40FA / MDA-80FA / MDA-12FA from MIDAS SYSTEM (Korea) - Fully auto mask aligner.

Easy operation UI , PLC Operation with PC control , Image grab & Data log , More than 100 Program recipes , Microscope position control system , Auto Align mark searching function.

BSA - option 
Wafers up to: до 50, 100 mm / 150, 200mm. / 200, 300 mm.
Fully Auto Alignment anf Fully Auto Exposure. Casset to Cassete

MDA-600LJ Fully Manual Mask Aligner

MDA-600LJ from MIDAS SYSTEM (Korea) fully manual mask aligner. 

Easy operation & Installation , Handling Substrates of Various sizes , Adopt UV-LED exposure module , UV-LED Life-time is long

Aligner accuracy - 1 micron. 
Wafers size up to 150 mm.
Manual alignment and exposure

MDA-600LJ from MIDAS SYSTEM (Korea) fully manual mask aligner. 

Easy operation & Installation , Handling Substrates of Various sizes , Adopt UV-LED exposure module , UV-LED Life-time is long

Aligner accuracy - 1 micron. 
Wafers size up to 150 mm.
Manual alignment and exposure

Свернуть
Свернуть
Свернуть

ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены

Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.

тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru

Карта сайта