Cканирующий (растровый) электронный микроскоп с полевой эмиссией производства JEOL (Япония) серии JSM-7100F
JSM-7100F – сканирующий электронный микроскоп с катодом Шоттки. Этот микроскоп является оптимальным решением для работы с наноразмерными образцами, он совмещает в себе высокую разрешающую способность необходимую для получения высокого разрешения при больших увеличениях при визуальном исследования образцов и высокие токовые характеристики электронного пучка (ток пучка до 200 нА). Благодаря уникальной конструкции электронно-оптической колонны достигается высокая стабильность пучка во времени, что очень важно при использовании методов энергодисперсионного анализа, волнодисперсионного анализа, дифракции обратно рассеянных электронов, катодолюминисценции.
В электронно-оптической колонне микроскопа JEOL JSM 7100F реализована In-lens схема расположения катода, что позволяет с высокой эффективностью отбирать электроны эмитируемые с катода и поддерживать высокий ток пучка, и линзы с оптимальным углом апертуры для формирования тонкого зонда, даже при высоких токах.
Микроскоп в базовой конфигурации оснащается высокоэффективным детектором вторичных электронов и детектором обратно отраженных электронов и системой Gentle Beam (GB) которая позволяет улучшить разрешение при низких ускоряющих напряжениях. В конфигурации JSM7500TTL помимо вышеперечисленных детекторов устанавливаются 2 Through the Lens (TTL) детектора. Они располагаются непосредственно внутри колонны и их использование позволяет улучшить разрешение.
Микроскоп JEOL JSM7100F позволяет исследовать непроводящие образцы методом ЭДС и ДОРЭ при высоких ускоряющих напряжениях в режиме низкого вакуума. Давление в камере может регулироваться в пределах от 10 до 300 Па.
Благодаря используемой в данном микроскопе электронно-оптической колонне, которая позволяет работать с пучком малого диаметра и большим током, возможно построение карт распределения элементов при малых ускоряющих напряжениях, что обеспечивает получение результат с очень большой локальностью.
| Модель | JSM-7100F | JSM-7100F/TTL | JSM-7100F/LV |
| Разрешение | 1,2 нм (30 кВ), 3,0 нм (1 кВ), 3,0нм (15 кВ, 5 нА, рабочий отрезок 10 мм) |
1,2 нм (30 кВ), 2,0 нм (1 кВ), 3,0нм (15 кВ, 5 нА, рабочий отрезок 10 мм) |
1,2 нм (30 кВ), 3,0 нм (1 кВ), 3,0нм (15 кВ, 5 нА, рабочий отрезок 10 мм) |
| Режимы работы | Высоковакуумный режим | Высоковакуумный режим | Высоковакуумный режим, низковакуумный режим |
| Ускоряющее напряжение | 200 В - 30 кВ | 100 В - 30 кВ | 200 В - 30 кВ |
| Диапазон увеличений | от х10 до x1 000 000 | ||
| Ток пучка | 1 пА - 200 нА | 1 пА - 200 нА 1 пА - 20 нА (с установленной горловиной) |
|
| Линза, оптимизирующая угол вхождения пучка в диафрагму | Встроена по умолчанию | ||
| Энергетический фильтр | отсутствует | Встроен. Управляется напряжением | отсутствует |
| Катод | Шоттки | ||
| Режим торможения пучка «Gentle Beam» | Доступен в базовой комплектации | ||
| Предметный столик |
Эвцентрический гониометрический столик |
||
| Диапазон рабочих отрезков |
от 2 до 41 мм |
||
| Вакуумный шлюз |
Входит в базовую комплектацию |
||
| Вакуумная система |
Полностью автоматизирована |
Полностью автоматизирована -Ионный насос — 2 шт. - Турбомолекулярный насос — 1 шт. Форвакуумный ротационный насос — 1 шт. |
Полностью автоматизирована -Ионный насос — 2 шт. - Турбомолекулярный насос — 1 шт. Форвакуумный ротационный насос — 2 шт. |
| Операционная система | для MS Windows | ||
JSM-7610F – это растровый электронный микроскоп с катодом Шоттки, сочетающий в себе мощную электронную пушку и объективную линзу открытого типа (semi-in-lens). Благодаря такой комбинации этот РЭМ одинаково хорош как для работы с диэлектриками или чувствительными к воздействию электронного луча образцами при малых ускоряющих напряжениях, так и для проведения экспериментов, требующих высоких токов пучка (элементного анализа с использованием спектрометра с волновой дисперсией, получения картин дифракции отраженных электронов, катодолюминесцентных исследований и т.п.)
Увеличение от 25 до 1 000 000 крат
Автоэмиссионный "холодный" катод
Разрешение до 1,0 нм (15 кВ)
Ускоряющее напряжение от 100 В до 30 кВ
Ток пучка от 1 пА до 200 нА
Опция - интегрированный ЭДС и др.
JSM-7610F – это растровый электронный микроскоп с катодом Шоттки, сочетающий в себе мощную электронную пушку и объективную линзу открытого типа (semi-in-lens). Благодаря такой комбинации этот РЭМ одинаково хорош как для работы с диэлектриками или чувствительными к воздействию электронного луча образцами при малых ускоряющих напряжениях, так и для проведения экспериментов, требующих высоких токов пучка (элементного анализа с использованием спектрометра с волновой дисперсией, получения картин дифракции отраженных электронов, катодолюминесцентных исследований и т.п.)
Увеличение от 25 до 1 000 000 крат
Автоэмиссионный "холодный" катод
Разрешение до 1,0 нм (15 кВ)
Ускоряющее напряжение от 100 В до 30 кВ
Ток пучка от 1 пА до 200 нА
Опция - интегрированный ЭДС и др.
JIB-4601F – двулучевая система, представляющая собой растровый электронный микроскоп высокого разрешения с термополевым катодом, оснащенный мощной ионной пушкой. Прибор может одновременно быть использован и в режиме РЭМ, и в режиме ионного микроскопа или системы ионного травления.
Ионная пушка + расторовый электронный микроскоп с полевой эмиссией
Ионная пушка с ускоряющими напряжением от 1 до 30 кВ
Электронно-оптическая колонна ускоряющим напряженм от 0,2 до 30 кВ
Увеличение на РЭМ от 20 до 1 000 000 крат
Ускоряющее напряжение до 30 кВ
Разрешение до 1,2 нм в режиме высокого вакуума
Диаметр образца до 50 мм, высота до 20 мм
JIB-4601F – двулучевая система, представляющая собой растровый электронный микроскоп высокого разрешения с термополевым катодом, оснащенный мощной ионной пушкой. Прибор может одновременно быть использован и в режиме РЭМ, и в режиме ионного микроскопа или системы ионного травления.
Ионная пушка + расторовый электронный микроскоп с полевой эмиссией
Ионная пушка с ускоряющими напряжением от 1 до 30 кВ
Электронно-оптическая колонна ускоряющим напряженм от 0,2 до 30 кВ
Увеличение на РЭМ от 20 до 1 000 000 крат
Ускоряющее напряжение до 30 кВ
Разрешение до 1,2 нм в режиме высокого вакуума
Диаметр образца до 50 мм, высота до 20 мм
JSM-7500F – это растровый электронный микроскоп с «холодным» (автоэмиссионным) катодом, который сочетает в себе простоту управления, большой срок службы катода, аналитические возможности, а также экономичность в энергопотреблении. Холодный катод и объективная линза открытого типа (semi-in-lens) позволяют получать изображения с высоким разрешением и контрастом при малых токах пучка и низких ускоряющих напряжениях. Это особенно важно при работе с деликатными, чувствительными к пучку, образцами – полимерами, биологическими образцами, полупроводниками и т.п.
Увеличение от 25 до 1 000 000 крат
Автоэмиссионный "холодный" катод
Разрешение до 1,0 нм (15 кВ)
Ускоряющее напряжение от 100 В до 30 кВ
Ток пучка от 1 пА до 2 нА
Опция - интегрированный ЭДС и др.
JSM-7500F – это растровый электронный микроскоп с «холодным» (автоэмиссионным) катодом, который сочетает в себе простоту управления, большой срок службы катода, аналитические возможности, а также экономичность в энергопотреблении. Холодный катод и объективная линза открытого типа (semi-in-lens) позволяют получать изображения с высоким разрешением и контрастом при малых токах пучка и низких ускоряющих напряжениях. Это особенно важно при работе с деликатными, чувствительными к пучку, образцами – полимерами, биологическими образцами, полупроводниками и т.п.
Увеличение от 25 до 1 000 000 крат
Автоэмиссионный "холодный" катод
Разрешение до 1,0 нм (15 кВ)
Ускоряющее напряжение от 100 В до 30 кВ
Ток пучка от 1 пА до 2 нА
Опция - интегрированный ЭДС и др.
ООО "Минатех"— Микро и нано технологии
Статьи
© Все права защищены
Россия, Москва, ул. Ткацкая, д.5с1.
тел./факс: +7 (495) 909-89-53 / +7 (495) 909-89-54
моб.тел.: +7 (926) 134-69-15
e-mail: info@minateh.ru
